中国科学技术大学田慧获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔及传样方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121453830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610009747.6,技术领域涉及:G01N23/2204;该发明授权一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔及传样方法是由田慧;刘站锋;崔胜涛;刘毅;孙喆设计研发完成,并于2026-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔及传样方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔及传样方法。机械结构包括上腔、下腔、以及连通上下腔并设有闸板阀的第一连通腔;上腔上端通过第二连通腔安装一集成有X、Y、Z轴位移台及极角旋转装置的复合运动装置;下腔侧壁连通分析器。针对单目视觉存在的深度信息缺失问题,本系统采用双目视觉系统,确定样品台上视觉标记的三维空间坐标X,Y,Z,从根本上解决了深度模糊,为实现微米级定位提供了核心保障。处理模块预存标准定位坐标,并集成图像获取、信息处理与位置控制功能。实现了微米级定位精度、智能化的安全保障、热形变实时补偿与全流程自动化。
本发明授权一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔及传样方法在权利要求书中公布了:1.一种基于视觉反馈的样品台自动定位分析腔的传样方法,其特征在于: 分析腔内部具有上腔8和下腔9; 上腔8下端通过第一连通腔连通下腔9,第一连通腔设置有闸板阀15,上端通过第二连通腔安装复合运动装置; 下腔9侧壁连通分析器10; 复合运动装置输出端通过样品杆5连接样品台7,用于控制样品台7进行多自由度的调整; 上腔8和下腔9对应光学视窗分别安装有第一和第二双目视觉系统; 包括处理模块,集成有图像获取单元、信息处理单元和位置控制单元; 所述图像获取单元用于通过驱动第一和第二双目视觉系统,采集样品台7视觉标记的实时图像; 所述信息处理单元用于对图像进行预处理,基于双目立体视觉原理将图像数据转化为样品台的三维坐标与位姿; 所述位置控制单元用于通过复合运动装置对样品台进行多自由度调整; 包括以下几个步骤; 步骤一、预设标准定位坐标:根据样品台7对应上腔8和下腔9中的理想定位位置,通过第一和第二双目视觉系统进行预设标准定位坐标;标准定位坐标包括上腔中样品台7的初始定位坐标、虚拟安全通道坐标和下腔9精确定位坐标; 步骤二、系统初始化:实时监测上腔8与下腔9的真空度,当上腔8真空度优于8×10-11torr、下腔9真空度优于6×10-11torr时,开启闸板阀15; 步骤三、上腔初定位:通过第一双目视觉系统对上腔8中样品台7进行实时定位三维坐标,将实时定位三维坐标与预存标准定位坐标进行比对,并通过位置控制单元驱动复合运动装置进行修正,确保样品台处于精确的传样起始点; 步骤四、安全传样与路径规划:闸板阀15开启后,位置控制单元控制样品台7沿预存的虚拟安全通道坐标移动,在此过程中,第一双目视觉系统持续监测,确保运动轨迹偏差在安全容限内;当样品台7下降至预设高度时,系统自动校验其横向位置与角度偏差是否处于安全容限范围内,若超出容限,系统立即启动闭环控制机制进行轨迹修正,待位姿满足要求后方可继续运动,确保传样过程始终处于预设的虚拟安全通道内; 步骤五、下腔精确定位:当样品台7进入下腔9,系统进入精定位与持续安全监测模式,第二双目视觉系统对样品台7进行实时三维定标,并与预存的下腔精确定位坐标进行比对,位置控制单元驱动复合运动装置进行多自由度精密调整,直至偏差小于精确定位阈值; 步骤六、持续防碰撞监测:第二双目视觉系统以设定频率持续运行,实时计算样品台7与分析器10之间的空间距离;该距离数据被实时反馈至处理模块,确保其始终维持在安全作业距离以上;当距离小于第一安全阈值时,系统启用前馈控制策略,主动调整样品台运动轨迹以避免潜在碰撞风险;当距离进一步缩小至第二危险阈值时,系统立即中止所有运动并触发声光报警,确保设备安全; 步骤七、高精度扫描与热补偿:完成单点精定位后,系统根据预设扫描序列移动样品台,在每个点均重复步骤五中的精确定位流程,确保每个数据点的坐标精度,系统周期性地运行定位流程,以自动补偿因热形变导致的位姿漂移。
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