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龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121386929B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511971006.8，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器在说明书摘要公布了：本申请实施例公开一种气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器。方法包括：获取校准罐的第一容积校验参数；获取校准罐的第一气体仅扩散至第二容积的第二容积校验参数；获取校准罐的第一气体扩散至第三容积的第三容积校验参数；获取第四容积校验参数；获取第三容积的第二气体仅扩散至第二容积的第五容积校验参数；获取第三容积的第二气体扩散至第一容积的第六容积校验参数；基于第一容积及上述容积校验参数确定阀门容积。本申请实施例能够准确可靠地确定第二阀门的阀门容积及第四阀门的阀门容积，阀门的阀门容积不再被忽略，同时也不再被当成经验参数进行处理，如此有利于提高气体流量的计算准确度，从而满足半导体工艺的高精度要求。

本发明授权气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器在权利要求书中公布了：1.一种气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法，其特征在于，所述气体质量流量验证系统包括校准系统、校准罐系统及干泵，所述校准系统包括第一阀门、第二阀门及第三阀门，所述校准罐系统包括校准罐与第四阀门，所述第一阀门的输入端用于对接气体输出模块，所述气体输出模块与所述校准系统通信连接，所述第一阀门的输出端与所述第二阀门的输入端连通，所述第二阀门的输出端分别对接所述第三阀门的输入端和所述第四阀门的输入端，所述第三阀门的输出端用于对接所述干泵，所述第四阀门的输出端用于与所述校准罐对接，所述阀门容积确定方法包括： 响应于所述校准罐已被充入第一气体，获取所述校准罐在所述第四阀门处于关闭状态下的第一容积校验参数，所述校准罐的容积为已知的第一容积； 获取所述校准罐的第一气体仅扩散至第二容积的第二容积校验参数，所述第二容积为所述第二阀门、所述第三阀门及所述第四阀门之间形成的容积，所述获取所述校准罐的第一气体仅扩散至第二容积的第二容积校验参数，包括：响应于所述第二容积进入真空状态，控制所述校准罐的第一气体仅扩散至所述第二容积；在所述第一气体扩散至所述第二容积后，在所述校准罐处检测第二容积校验参数； 获取所述校准罐的第一气体由所述第二容积扩散至第三容积的第三容积校验参数，所述第三容积为所述第一阀门与所述第二阀门之间形成的容积，所述获取所述校准罐的第一气体由所述第二容积扩散至第三容积的第三容积校验参数，包括：控制所述第二阀门进入打开状态，使得所述校准罐的第一气体由所述第二容积扩散至所述第三容积；在所述校准罐的第一气体由所述第二容积扩散至所述第三容积后，在所述校准罐处检测第三容积校验参数； 响应于所述第三容积已被充入第二气体，获取与所述第三容积对应的第四容积校验参数； 获取所述第三容积的第二气体仅扩散至所述第二容积的第五容积校验参数； 获取所述第三容积的第二气体由所述第二容积扩散至所述第一容积的第六容积校验参数； 基于所述第一容积、所述第一容积校验参数、所述第二容积校验参数、所述第三容积校验参数、所述第四容积校验参数、所述第五容积校验参数及所述第六容积校验参数，确定所述第二阀门的阀门容积及所述第四阀门的阀门容积。

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