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龙图腾网获悉河北唯佳金属网股份有限公司;河北唯佳精密科技股份有限公司;河北睿佳精密科技有限公司申请的专利用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121344601B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511903859.8，技术领域涉及：C23F1/00；该发明授权用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置是由韩钊洋;田伟光;韩子超设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置，涉及刻蚀技术领域，包括：读取刻蚀图案信息，执行不同刻蚀位置刻蚀深度标记，生成刻蚀深度分布图；采集刻蚀液信息和金属板基材信息，按照预设侧壁精度需求执行侧向腐蚀行为仿真，建立极限单次刻蚀约束；按照极限单次刻蚀约束，基于所述刻蚀深度分布图执行分次遮挡刻蚀分割，生成分次刻蚀参数，每次的刻蚀参数包括曝光显影参数和刻蚀控制参数；以所述分次刻蚀参数对金属板基材进行分次刻蚀控制。本发明解决现有技术刻蚀深度不均和侧向腐蚀难控的技术问题，通过建立极限单次刻蚀约束并实施分次遮挡刻蚀，达到提高刻蚀精度和一致性的技术效果。

本发明授权用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置在权利要求书中公布了：1.用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法，其特征在于，包括： 读取刻蚀图案信息，执行不同刻蚀位置刻蚀深度标记，生成刻蚀深度分布图； 采集刻蚀液信息和金属板基材信息，按照预设侧壁精度需求执行侧向腐蚀行为仿真，建立极限单次刻蚀约束； 按照极限单次刻蚀约束，基于所述刻蚀深度分布图执行分次遮挡刻蚀分割，生成分次刻蚀参数，每次的刻蚀参数包括曝光显影参数和刻蚀控制参数； 以所述分次刻蚀参数对金属板基材进行分次刻蚀控制； 采集刻蚀液信息和金属板基材信息，按照预设侧壁精度需求执行侧向腐蚀行为仿真，建立极限单次刻蚀约束，包括： 建立喷淋式化学刻蚀设备的喷淋孪生体； 以所述刻蚀液信息和所述金属板基材信息进行刻蚀反应建模，建立刻蚀反应孪生体； 联合所述喷淋孪生体与所述刻蚀反应孪生体执行刻蚀液的喷淋测试，并同步监测侧向腐蚀的连续仿真状态，识别侧向腐蚀达到预设侧壁精度需求边界时的刻蚀深度、刻蚀时间以及随刻蚀时间变化的刻蚀液喷洒量曲线，生成所述极限单次刻蚀约束。

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