常州锆芯科技有限公司顾怡峰获国家专利权
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龙图腾网获悉常州锆芯科技有限公司申请的专利真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511855471.5，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法是由顾怡峰;王相明设计研发完成，并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法，通过真空吸取方式承载晶圆，气道出口外围设置有环体结构，晶圆通过气道抽真空吸附在环体结构上，环体结构硬度低于陶瓷基体硬度；环体结构与陶瓷基体粘接固定，粘接界面通过胶水自环体结构内侧向外侧流动，从而在环体结构与陶瓷基体间固定的缝隙形成；粘接界面形成后，胶水自环体结构外侧部分溢出。本发明中的粘接界面在固定缝隙间挤压形成，可消除粘接界面的气泡和空隙，强化界面结合力，确保环体结构与陶瓷基体之间形成更紧密、无缺陷的密封层，增强整体结构的可靠性和耐久性；环体结构硬度低于陶瓷基体硬度，可改善晶圆形变而造成的寿命缩短及其他衍生不良。
本发明授权真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法在权利要求书中公布了：1.真空吸盘组合式陶瓷手指，通过真空吸取方式承载晶圆，包括具有内部气道的陶瓷基体，所述气道在所述陶瓷基体表面开设出口； 其特征在于： 所述出口外围设置有环体结构，晶圆通过所述气道抽真空吸附在所述环体结构上，所述环体结构硬度低于所述陶瓷基体硬度； 所述环体结构与所述陶瓷基体粘接固定，粘接界面通过胶水自所述环体结构内侧向外侧流动，从而在所述环体结构与陶瓷基体间固定的缝隙形成； 所述粘接界面形成后，所述胶水自所述环体结构外侧部分溢出。
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