欣强电子(清远)股份有限公司郑朝屹获国家专利权
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龙图腾网获悉欣强电子(清远)股份有限公司申请的专利一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121140647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511695175.3,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统是由郑朝屹;陈洁亮;陈廷魁设计研发完成,并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于PCB板检测技术领域,具体公开一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统,通过将PCB板面分为多个检测区域,在每个检测区域进行铜厚均匀性和线宽均匀性检测,构建空间关联与时间连续性双重维度的均匀性评估机制,实现对各检测区域在电镀过程中的动态均匀性判定,能够有效识别早期异常,与此同时在完成铜厚与线宽均匀性判定并识别出异常检测区域后通过将异常区域的电流密度与铜厚波动特征进行动态关联,同时将镀液流动速率与线宽波动特征进行滞后相关性分析,由此来确定导致不均匀性的主要影响因素,实现从异常检测到根因溯源的闭环分析,为工艺参数调优提供明确的方向性指导。
本发明授权一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种PCB板铜厚与线宽均匀性检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1、将PCB板面分为多个检测区域,并为每个检测区域建立位置标识; 步骤2、利用电镀设备传感器、成像设备分别获取每个检测区域对应的电流密度、镀液流动速率和PCB表面图像; 步骤3、针对每个检测区域的PCB表面图像提取表征铜厚分布均匀性的铜厚波动幅度和表征线宽尺寸均匀性的线宽波动幅度; 步骤4、结合空间邻近比较与时间趋势分析,对每个检测区域的铜厚波动幅度和线宽波动幅度进行均匀性状态判定,识别出存在不均匀风险的异常检测区域; 步骤5、针对识别出的异常检测区域,通过构建电流密度序列与铜厚波动幅度序列进行时序共现关联分析,同时构建镀液流动速率序列与线宽波动幅度序列进行时滞相关性分析,并进一步确定导致不均匀性的主要影响因素; 所述步骤1内容如下:基于PCB板面的图形布局拓扑特征,对整板进行功能分区,划分为高图形密度区与低图形密度区;在各功能区内进行网格单元划分生成若干检测区域,其中网格划分以功能区边界为约束条件,确保每个检测区域完全包含于单一功能区内,不跨越不同区域的边界;为所有生成的检测区域分配空间位置标识符,该位置标识包含功能区类型和网格坐标信息; 所述铜厚波动幅度包括以下提取过程:基于每个检测区域的PCB表面图像识别其所归属的功能区,根据归属功能区进行如下采样点布设:高图形密度区:在检测区域内确定上线与下线的中点并连接形成中轴线,该中轴线与检测区域边界共同将区域划分为四个子区域;在该检测区域的几何中心点、四个子区域的中心点以及边界点布设采样点;低图形密度区:在每个检测区域的几何中心点及四条边的中点布设采样点;在每个检测区域布设的每个采样点处提取图像灰度值;根据预先通过试验标定的灰度值与铜厚的对应关系,将每个采样点的灰度值转换为铜厚值;计算每个检测区域内所有采样点铜厚值的极差,作为该检测区域的铜厚波动幅度。
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