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通威微电子有限公司徐红立获国家专利权

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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利一种液相式碳化硅粉料合成方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121063536B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511604888.4,技术领域涉及:C01B32/984;该发明授权一种液相式碳化硅粉料合成方法及装置是由徐红立;林雨生;郑鉴唯;杨市礼设计研发完成,并于2025-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种液相式碳化硅粉料合成方法及装置在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种液相式碳化硅粉料合成方法及装置,涉及碳化硅粉料合成技术领域。液相式碳化硅粉料合成通过液相式碳化硅粉料合成方法合成碳化硅粉料,液相式碳化硅粉料合成方法通过控制多个沿轴线方向设置的石墨片伸入硅液内,并带动多个石墨片与坩埚转动,以用于形成致密的碳化硅结晶料,坩埚的转动方向与石墨片的转动方向相反,由此形成对流,由此可以加速硅液在多孔石墨片的渗透,使持续的熔硅渗入石墨片内,可以减少孔隙和缺陷的形成,发生原位合成反应。并且坩埚内表面也会发生微量的碳硅反应,合成物位于高温区,在温梯的作用下,碳原子转移至石墨片对流产生的低温区,在石墨片表面结晶形成大块且密度较高碳化硅结晶料。

本发明授权一种液相式碳化硅粉料合成方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种液相式碳化硅粉料合成方法,其特征在于,所述方法包括: 使原料2填装于坩埚600内,所述原料2包括硅料,将所述坩埚600放置于炉腔100中; 加热所述坩埚600以使所述硅料融化; 控制沿轴线方向间隔设置的多个石墨片320伸入硅液内,所述控制沿轴线方向间隔设置的多个石墨片320伸入所述硅液内的步骤包括:控制多个所述石墨片320缓慢旋转且向下没入硅液中,控制所述坩埚600沿第一方向且以第三预设速度V3转动,控制所述多个石墨片320沿第二方向且以第四预设速度V4转动,所述坩埚600温度处于熔融温度T3,且持续第五预设时间t5; 控制所述坩埚600沿所述第二方向且以第三预设速度V3转动,控制所述多个石墨片320沿所述第一方向且以第四预设速度V4转动,且持续第六预设时间t6,所述第一方向与所述第二方向相反,以形成致密的碳化硅结晶料,所述坩埚600的转动轴线与所述多个石墨片320的转动轴线同轴,所述石墨片320由多孔石墨制成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威微电子有限公司,其通讯地址为:610299 四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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