内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司王金荣获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利晶棒切片加工方法及线切机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120985823B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511485412.3,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权晶棒切片加工方法及线切机是由王金荣;曹建伟;朱亮;沈振宏;董凯设计研发完成,并于2025-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶棒切片加工方法及线切机在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶棒切片加工方法及线切机,晶棒切片加工方法包括:在切割晶棒的过程中监测实际线弓值g,并根据理想线弓值H‑切深Y图像确定线弓差值Δh,Δh=H-g;在第一切割时段内,若Δh为负值则进行补足调节从而增加切割线网的切割力,若Δh大于0.5㎜则进行削弱调节从而减小切割线网的切割力,以使线弓差值Δh落入0~0.5㎜区间;在第二切割时段内,若Δh为负值则增大晶棒与切割线网的往复运动行程,若Δh为正值则减小往复运动行程。
本发明授权晶棒切片加工方法及线切机在权利要求书中公布了:1.一种晶棒切片加工方法,其特征在于,所述方法包括: 在切割晶棒的过程中监测实际线弓值g,并根据理想线弓值H-切深Y图像确定线弓差值Δh,Δh=H-g; 在第一切割时段内,若Δh为负值则进行补足调节从而增加切割线网的切割力,若Δh大于0.5㎜则进行削弱调节从而减小切割线网的切割力,以使线弓差值Δh落入0~0.5㎜区间; 所述补足调节包括降低进给速度V、增加单次循环新线量T; 所述削弱调节包括提升进给速度V、减少单次循环新线量T; 在第二切割时段内,若Δh为负值则增大晶棒与切割线网的往复运动行程,若Δh为正值则减小所述往复运动行程;增大所述往复运动行程包括:增大晶棒相对切割线网的摇摆幅度α;减小所述往复运动行程包括:减小晶棒相对切割线网的摇摆幅度α; 及或, 在第二切割时段内,若Δh为负值则增大晶体的进给回退量N,若Δh为正值则减小晶体的进给回退量N。
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