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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所;山东大学申请的专利一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120914596B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511039051.X，技术领域涉及：H01S3/067；该发明授权一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置是由冯宝杰;赵峭消;赵智刚;高纪松;刘文博;陈岚;吴克辉;王上;刘兆军设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置，包括：光纤激光器，用于产生基频激光；光束方向稳定系统，用于稳定基频激光的输出方向；频率转换模块，用于对基频激光进行三倍频操作获得三倍频的线偏振激光以及第一次剩余激光；双色镜，用于分离三倍频的线偏振激光和剩余激光；第一光束收集器，用于收集第一次剩余激光；三倍频反射镜，用于将三倍频的线偏振激光反射到偏振调谐模块；偏振调谐模块用于对三倍频的线偏振激光进行偏振调谐；惰性气体频率转换模块，用于将调谐后的三倍频的线偏振激光进行三倍频操作获得极紫外激光和第二次剩余激光；聚焦‑单色‑检测模块，用于分离极紫外激光和第二次剩余激光。

本发明授权一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置在权利要求书中公布了：1.一种偏振可调谐的极紫外脉冲激光发生装置，其特征在于，所述装置包括：光纤激光器、光束方向稳定系统、频率转换模块、双色镜、第一光束收集器、三倍频反射镜、偏振调谐模块、惰性气体频率转换模块、聚焦-单色-检测模块，其中： 所述光纤激光器用于产生基频激光； 所述光束方向稳定系统用于稳定基频激光的输出方向；其中，所述光束方向稳定系统 包括第一电控反射镜、第一反射镜、第二反射镜、第二电控反射镜、第一波片、分束立方、第 一平凸透镜、第三反射镜、第二平凸透镜、第四反射镜、滤波片、光斑位置分析器、第五反射 镜、第二波片，其中：第一电控反射镜配置在光纤激光器激光射出方向，用于将激光纤激光 器产生的基频激光反射给第一反射镜，所述第一电控反射镜配置有步进电机与压电陶瓷以 用于在光斑位置分析器反馈光束传播不稳定时调整基频激光传播方向；第一反射镜用于将 射入的基频激光反射给第二反射镜；第二反射镜用于将射入的基频激光反射给第二电控反 射镜；第二电控反射镜用于将入射的基频激光反射给第一波片，所述第二电控反射镜配置 有步进电机与压电陶瓷以用于在光斑位置分析器反馈光束传播不稳定时调整基频激光传 播方向；第一波片用于从基频激光中分离采样参考光以用于光束稳定性判断；分束立方用 于将第一波片分离的采样参考光射入第一平凸透镜、将基频激光射入第五反射镜；第一平 凸透镜用于对采样参考光进行第一次缩束处理后射入第三反射镜；第三反射镜用于将经第 一次缩束处理后的采样参考光反射给第二平凸透镜；第二平凸透镜用于对射入的采样参考 光进行第二次缩束处理后射入第四反射镜；第四反射镜用于将第二次所述处理后的采样参 考光反射给滤波片；滤波片用于对射入的采样参考光进行功率衰减以适应光斑分析需求； 光斑位置分析器用于对经滤波片处理后的采样参考光进行光盘分享一判断光束传播稳定 性，并在光束传播不稳定时反馈第一电控反射镜和第二电控反射镜；第五反射镜用于将基 频激光反射给第二波片；第二波片用于调整基频激光的偏振方向并射入频率转换模块； 所述频率转换模块用于对基频激光进行三倍频操作获得三倍频的线偏振激光以及第一次剩余激光； 所述双色镜用于对三倍频的线偏振激光和剩余激光进行分离操作，并将三倍频的线偏振激光射入反射镜，第一次剩余激光射入第一光束收集器； 所述第一光束收集器用于收集第一次剩余激光； 所述三倍频反射镜用于将双色镜射入的三倍频的线偏振激光反射到偏振调谐模块； 所述偏振调谐模块用于对三倍频的线偏振激光进行偏振调谐； 所述惰性气体频率转换模块用于将调谐后的三倍频的线偏振激光进行三倍频操作获得极紫外激光和第二次剩余激光； 所述聚焦-单色-检测模块用于分离极紫外激光和第二次剩余激光，并检测极紫外激光的光功率和光通量。

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