中科睿华科技(北京)有限公司王尚获国家专利权
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龙图腾网获悉中科睿华科技(北京)有限公司申请的专利一种直流测试探针装置及直流测试系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120610036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510714080.5,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权一种直流测试探针装置及直流测试系统是由王尚;杨粟堯;陈传辉;宋新洋设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直流测试探针装置及直流测试系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种直流测试探针装置及直流测试系统,直流测试探针装置沿探针主体轴向设置磁吸线圈与垂直电阻组件,沿径向设置探针外壳层;磁吸线圈外侧连接高精传动机构,通过驱动线圈开合动作动态调节电感量;探针外壳层内部从外至内集成探针屏蔽层与探针导电层;垂直电阻组件位于探针导电层与磁吸线圈之间,通过贴片压接力调节探针阻抗。该装置实现电感与阻抗的集成化精准调控,降低寄生干扰,适配半导体芯片、电路板等多场景直流参数测试需求。
本发明授权一种直流测试探针装置及直流测试系统在权利要求书中公布了:1.一种直流测试探针装置,其特征在于,包括: 沿探针主体轴向设置的磁吸线圈、垂直电阻组件; 沿探针主体径向包裹于探针外部的探针外壳层; 所述磁吸线圈外侧连接有高精传动机构,用于驱动所述磁吸线圈执行开合动作以调节探针电感量; 所述探针外壳层内部从外至内依次集成有探针屏蔽层和探针导电层,所述探针屏蔽层用于屏蔽外部电磁干扰,所述探针导电层用于传输测试信号; 所述垂直电阻组件位于所述探针导电层与所述磁吸线圈之间,用于通过贴片压接力调节探针阻抗; 所述垂直电阻组件沿所述探针主体轴向从下至上依次包括: 弹性支撑层,作为所述垂直电阻组件的底部支撑结构; 镍铬薄膜电阻,设置于所述弹性支撑层上方,且为垂直结构、其轴线与所述探针导电层的信号传输方向垂直,用于提供阻抗调节基础; 导电过孔,设置于所述镍铬薄膜电阻上方,用于连接所述镍铬薄膜电阻与氮硅陶瓷基底; 氮硅陶瓷基底,设置于所述导电过孔上方,作为贴片压接机构的基片; 镀金层,分别设置于所述氮硅陶瓷基底朝向所述导电过孔的表面、及所述镍铬薄膜电阻朝向所述氮硅陶瓷基底的接触面,用于降低接触电阻。
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