陕西源杰半导体科技股份有限公司绳梦伟获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西源杰半导体科技股份有限公司申请的专利集成分支波导和光电二极管的半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120566223B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511043276.2,技术领域涉及:H01S5/026;该发明授权集成分支波导和光电二极管的半导体器件是由绳梦伟;李马惠;剌晓波;王玮设计研发完成,并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成分支波导和光电二极管的半导体器件在说明书摘要公布了:本申请涉及一种集成分支波导和光电二极管的半导体器件,属于半导体光电子技术领域。该激光器包括形成在同一半导体衬底上的半导体激光器、半导体光放大器、分支波导和光电二极管。半导体激光器输出的光传输至半导体光放大器,在半导体光放大器上形成Y分支结构,主波导对部分光进行放大输出,分支波导接收另一部分光并传入光电二极管,光电二极管对接收光进行光电转换,实现对半导体激光器前向光功率的监测。该结构实现了激光器输出光功率的实时监测,提高了激光器的稳定性和可靠性。
本发明授权集成分支波导和光电二极管的半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种集成分支波导和光电二极管的半导体器件,其特征在于,包括:形成在同一个半导体衬底上的半导体激光器、半导体光放大器及光电二极管; 所述半导体激光器的输出光传输到半导体光放大器上,在所述半导体光放大器的有源增益区内形成Y分支结构,所述Y分支结构包括主波导和分支波导,主波导对部分光放大输出,分支波导接收另一部分光并传入到光电二极管,光电二极管对接收光进行光电转换,用于对半导体激光器的前向光功率进行监测; 所述半导体激光器的一端连接半导体光放大器;所述半导体激光器和半导体光放大器的接触处,两者的宽度相同,半导体光放大器的弯曲角度范围是0°~50°; 所述分支波导和半导体激光器的波导夹角范围是0°~90°; 所述分支波导的位置、角度、宽度能够根据实际需求进行调整,用于得到不同的分光比,从而调整进入光电二极管的光功率; 还包括:电隔离区域;所述半导体激光器、半导体光放大器和光电二极管三者间设置电隔离区域,用于分别对三者进行独立的电流或电压控制;电隔离区域通过离子注入和刻槽相结合的方式形成,电阻大于15kΩ; 所述半导体光放大器在所述半导体衬底上的正投影的形状至少包括条状、锥形、倒锥形; 所述半导体激光器、半导体光放大器、分支波导和光电二极管均采用掩埋异质结波导或脊波导结构。
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