江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120155049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510644813.2，技术领域涉及：B01D53/75；该发明授权一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备是由潘小刚;顾小军;束寅志;魏超设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开了远程等离子体源领域内的一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备，包括：依次连通的加热系统、水蒸气喷射系统、冷却系统和吸附系统；加热系统包括分段式反应管，其温度场由进气端至出气端呈递增分布；吸附系统包括一级固体吸附层和二级循环喷淋系统，分段式反应管为三段同轴嵌套结构，包括预热段、主分解段和深度裂解段，每段独立控温并通过高频感应线圈加热。该电热吸附式尾气处理设备通过分段式加热实现NF3的逐级分解，结合多级吸附系统高效中和有害气体如HF，能有效去除尾气中有害物质，减少环境污染。
本发明授权一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备在权利要求书中公布了：1.一种RPS解离率测试的电热吸附式尾气处理设备，其特征在于，包括：依次连通的加热系统、水蒸气喷射系统、冷却系统和吸附系统；所述加热系统包括分段式反应管，所述分段式反应管为三段同轴嵌套结构，包括预热段、主分解段和深度裂解段，每段独立控温并通过高频感应线圈加热，所述分段式反应管的温度场由进气端至出气端呈递增分布，预热段为500℃、主分解段为800℃、深度裂解段为1000℃；所述水蒸气喷射系统为环形喷射装置，通过质量流量计控制超纯水蒸气注入量，与NF3的摩尔比动态匹配；所述吸附系统包括一级固体吸附层和二级循环喷淋系统，所述一级固体吸附层填充CaOH2颗粒，所述二级循环喷淋系统配置pH值反馈装置，用于动态调节喷淋液的浓度和流量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏神州半导体科技有限公司，其通讯地址为：225000 江苏省扬州市邗江区蜀岗西路19号1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励