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龙图腾网获悉上海点莘技术有限公司申请的专利一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411946478.3，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置，温度补偿方法用于对相机组件与支撑架之间的连接件的热变形进行补偿，连接件的材料为常温下具有因瓦效应的材料；相机组件的第一光轴与被检测物体的表面之间的交点为第一交点；温度补偿方法包括：测量连接面上至少三个温度测量点处的当前温度；根据温度测量点处的当前温度拟合得到连接面热变形后的形变面；根据形变面得到相机组件的第二光轴与被检测物体表面的第二交点，根据第二交点与第一交点的位置差得到热变形向量；基于热变形向量对被检测物体表面的所有点进行热补偿。本发明的温度补偿方法，降低了因热变形对光学检测精度的影响，提高光学量测的重复性精度。

本发明授权一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法，其特征在于，所述温度补偿方法用于对相机组件与支撑架之间的连接件的热变形进行补偿，所述连接件上具有与所述相机组件相邻的连接面；所述连接件未发生热变形的基准状态下，所述相机组件的第一光轴与被检测物体的表面之间的交点为第一交点；所述温度补偿方法包括： S10、所述连接件发生热变形后，测量所述连接面上至少三个温度测量点处的当前温度； S20、根据至少三个温度测量点处的所述当前温度拟合得到所述连接面热变形后的形变面； S30、根据所述形变面，得到所述相机组件在所述连接件发生形变后的第二光轴与被检测物体表面的第二交点，根据所述第二交点与所述第一交点的位置差得到热变形向量； S40、基于所述热变形向量对所述连接件发生热变形后所述被检测物体表面的所有点进行热补偿； 在步骤S20中，根据至少三个温度测量点处的所述当前温度拟合得到所述连接面热变形后的形变面包括： S201、计算得到各个所述温度测量点在热变形后的位置； S202、以各所述温度测量点为基准拟合得到所述形变面，且所述形变面距离各所述温度测量点的垂直距离最小； 所述温度测量点包括第一测量点和第二测量点，且所述第一测量点和所述第二测量点的连线与所述连接面的底边平行； 在步骤S201中，根据各个所述温度测量点的温度变化量、所述连接件的厚度以及所述连接件的热膨胀系数计算得到各个所述温度测量点在热变形后的位置； 在步骤S30中，根据所述形变面得到所述相机组件的第二光轴与被检测物体表面的第二交点具体包括： S301、以所述连接面的中心点在所述形变面上的投影得到中心投影点； S302、过所述中心投影点找平行于所述形变面且垂直于所述第一测量点和所述第二测量点的连线的光轴平行线； S303、计算所述形变面的法向量，将所述光轴平行线沿所述形变面的法向量移动所述第一光轴与所述连接面之间的距离，得到第二光轴。

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