吉林大学朱杨获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119915243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510090910.1,技术领域涉及:G01C1/00;该发明授权基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法是由朱杨;师萌阳;接敬琦;张刘;张帆设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明适用于测量技术领域,提供了基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法,包括干涉测量模块、改进PSF测量模块、半透半反镜和CGH,所述CGH用于对干涉测量模块和改进PSF测量模块进行相位调制,所述CGH包括改进PSF测量相位部分、倾角测量相位部分和定位全息相位部分。本发明利用计算机生成全息图CGH的可分区特性,实现了系统光机元件相对位置的精确标定,有效降低了由加工或测量系统装配过程中产生的固有误差。本发明展现出结构模块化、实时响应及高精度测量等优势,特别适用于对光学元件的姿态进行高精度测量,从而显著提升了高端装备加工平台以及光学制造装调过程中的精度与稳定性。
本发明授权基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统,其特征在于,包括: 干涉测量模块,用于进行俯仰角、偏航角和轴向位移的粗测,有一条干涉光路;所述干涉测量模块包括标准球面干涉仪和参考镜; 改进PSF测量模块,用于进行轴向位移的高精度测量和较大横向偏心位移的测量,是一个光学4f系统;所述改进PSF测量模块包括激光参考点、传感器和两个物镜,所述激光参考点安装在参考镜支撑结构中心区域,两个物镜包括物镜一和物镜二; 半透半反镜,用于将改进PSF测量模块和干涉测量模块两部分的测量光分开,干涉测量模块中的测量光一部分进入标准球面干涉仪,另一部分进入传感器平面; CGH,安装在4f系统的傅里叶平面,用于对干涉测量模块和改进PSF测量模块进行相位调制,包括: 改进PSF测量相位部分,包括中心区域,用于调制相位,通过改变传感器上PSF形态实现轴向横向位移测量; 倾角测量相位部分,包括环形区域,用于调制标准球面波前相位,使其与参考镜面型一致,实现双轴倾角测量;所述标准球面波前由标准球面干涉仪发出,并经半透半反镜入射至CGH的环形区域; 定位全息相位部分,包括用于定位CGH的波前调制环形反射区域和用于定位参考镜的波前调制点状透射区域。
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