应用材料以色列公司肖恩·凯西获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利由用于GIS操纵器的热隔离盖增强沉积速率获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119677891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380059455.8，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权由用于GIS操纵器的热隔离盖增强沉积速率是由肖恩·凯西;耶胡达·祖尔设计研发完成，并于2023-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本由用于GIS操纵器的热隔离盖增强沉积速率在说明书摘要公布了：一种用于在样品上方在样品的局部区域中沉积材料的系统，该系统包括：真空腔室；设置在真空腔室外部的热质量；被配置为在样品评估处理期间将样品保持在真空腔室内的样品支撑件；被配置为将带电粒子束朝向样品引导至真空腔室中，使得带电粒子束在沉积区域中与样品碰撞的带电粒子束柱；被配置为将处理气体输送到样品的沉积区域的气体注入系统；以及与气体注入系统及样品间隔开并且设置在气体注入系统与样品之间的热隔离屏蔽件，其中热隔离屏蔽件具有高导热率及低发射率，并且热耦接到热质量以将从气体注入系统辐射的热传递到热质量。
本发明授权由用于GIS操纵器的热隔离盖增强沉积速率在权利要求书中公布了：1.一种用于在样品上方在所述样品的局部区域中沉积材料的系统，所述系统包含： 真空腔室； 热质量，所述热质量设置在所述真空腔室外部； 样品支撑件，所述样品支撑件被配置为在样品评估处理期间将样品保持在所述真空腔室内； 带电粒子束柱，所述带电粒子束柱被配置为将带电粒子束朝向所述样品引导至所述真空腔室中，使得所述带电粒子束在沉积区域中与所述样品碰撞； 气体注入系统，所述气体注入系统被配置为将处理气体输送到所述样品的所述沉积区域；以及 热隔离屏蔽件，所述热隔离屏蔽件与所述气体注入系统及所述样品间隔开并且设置在所述气体注入系统与所述样品之间，以阻挡或捕获从所述气体注入系统朝向所述样品辐射的热，其中所述热隔离屏蔽件具有高热传导率及低发射率，并且热耦接到所述热质量以将从所述气体注入系统辐射的热传递到所述热质量。
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