京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司徐兆磊获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司申请的专利蒸镀装置与蒸镀系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119194371B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411331244.8,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权蒸镀装置与蒸镀系统是由徐兆磊;李鹏飞设计研发完成,并于2024-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置与蒸镀系统在说明书摘要公布了:本公开提供了一种蒸镀装置与蒸镀系统,涉及显示技术领域。蒸镀装置包括坩埚本体、第一限位板、第二限位板以及调节机构。坩埚本体具有蒸镀腔室和连通蒸镀腔室与外界的蒸镀口,蒸镀腔室内设有蒸发源。第一限位板设于蒸发源与蒸镀口之间,第一限位板具有贯通的第一蒸镀孔;第二限位板设于蒸发源与蒸镀口之间,第二限位板具有贯通的第二蒸镀孔。第一限位板与第二限位板在蒸镀腔室的深度方向层叠设置,第一蒸镀孔与第二蒸镀孔交叠以形成蒸镀通道,蒸镀通道连通蒸发源与蒸镀口。调节机构与第二限位板传动连接,用于使第二限位板相对第一限位板可滑移地设置,以改变第一蒸镀孔与第二蒸镀孔的交叠区域。本公开的蒸镀装置可调节不同区域的蒸镀速率。
本发明授权蒸镀装置与蒸镀系统在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括: 坩埚本体,具有蒸镀腔室和连通所述蒸镀腔室与外界的蒸镀口,所述蒸镀腔室内设有蒸发源,所述蒸发源包括源容器与加热器,所述源容器设于所述蒸镀腔室内,用于盛装蒸镀材料,所述加热器设于所述源容器外周,用于加热以气化所述蒸镀材料;所述加热器包括加热底板,所述加热底板设于所述源容器远离所述蒸镀口的一侧,所述加热底板沿第一方向具有第一加热区与第二加热区,所述第一加热区设有第一加热件,所述第二加热区设有第二加热件;所述蒸镀腔室内设有多个沿所述第一方向排布的所述蒸发源,各所述蒸发源的所述源容器不相连通;所述蒸发源至少包括位于所述第一加热区的第一蒸发源、位于所述第二加热区的第二蒸发源以及位于所述第一蒸发源与所述第二蒸发源之间的第三蒸发源; 第一限位板,设于所述蒸发源与所述蒸镀口之间,所述第一限位板具有贯通的第一蒸镀孔; 第二限位板,设于所述蒸发源与所述蒸镀口之间,所述第二限位板具有贯通的第二蒸镀孔;所述第一限位板与所述第二限位板在所述蒸镀腔室的深度方向层叠设置,所述第一蒸镀孔与所述第二蒸镀孔交叠以形成蒸镀通道,所述蒸镀通道连通所述蒸发源与所述蒸镀口; 调节机构,与所述第二限位板传动连接,用于使所述第二限位板相对所述第一限位板可滑移地设置,以改变所述第一蒸镀孔与所述第二蒸镀孔的交叠区域; 重量监测机构,所述重量监测机构包括第一压力传感器与第二压力传感器,所述第一压力传感器设于所述第一加热区,所述第二压力传感器设于所述第二加热区,所述重量监测机构用于获取位于所述第一加热区与位于所述第二加热区的所述源容器内的所述蒸镀材料的重量差t,t>0时,第一加热区的所述源容器内的所述蒸镀材料的重量大于所述第二加热区;t<0时,第二加热区的所述源容器内的所述蒸镀材料的重量大于所述第一加热区; 其中,所述调节机构与所述重量监测机构信号连接;所述第一限位板设于所述第二限位板远离所述蒸镀口的一侧,所述调节机构用于在t>0时,驱动所述第二限位板向靠近所述第二加热区的方向移动,所述调节机构用于在t<0时,驱动所述第二限位板向靠近所述第一加热区的方向移动; 或,第一限位板设于所述第二限位板靠近所述蒸镀口的一侧,所述调节机构用于在t>0时,驱动所述第二限位板向靠近所述第一加热区的方向移动,所述调节机构用于在t<0时,驱动所述第二限位板向靠近所述第二加热区的方向移动。
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