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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆研磨液清洗装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118847607B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410408862.1，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种晶圆研磨液清洗装置及其方法是由刘牛;王刚;王晨设计研发完成，并于2024-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨液清洗装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆研磨液清洗装置及其方法，具体涉及晶圆清洗技术领域，包括固定板和位于固定板两侧的超声波清洗箱，固定板上设置有旋转支托结构，旋转支托结构上设置有晶圆，固定板的侧上方设置有向晶圆两面喷淋清洗液的清洗液喷淋系统，每个超声波清洗箱的外侧均设置有旋转架体，旋转架体包括一对支架、管组、一对支板组和旋转驱动单元。本发明解决了目前用于晶圆清洗的刷体在长时间使用时会积累较多晶圆片上因化学机械研磨工艺具有的颗粒物，这样会影响到晶圆的清洗质量并造成晶圆结构的缺陷以及未有有效的清洗和干燥集成结构来快速满足晶圆清洗和干燥工艺的加工的技术问题。

本发明授权一种晶圆研磨液清洗装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨液清洗装置，包括固定板1和位于所述固定板1两侧的超声波清洗箱2，所述固定板1上设置有旋转支托结构3，所述旋转支托结构3上设置有晶圆，所述固定板1的侧上方设置有向晶圆两面喷淋清洗液的清洗液喷淋系统4，每个超声波清洗箱2的外侧均设置有旋转架体5，其特征在于：所述旋转架体5包括一对支架51、转动连接在一对支架51上的管组52、固定连接在管组52上的一对支板组53和设置在其中一个支架51上用于驱动所述管组52转动的旋转驱动单元54； 所述管组52包括相固定的蒸汽进管521和进线管522，所述蒸汽进管521和进线管522分别转动连接在对应的支架51上，一对支板组53分别固定连接在所述蒸汽进管521和进线管522上，所述支板组53由一对支板一531和一对支板二532组成； 清洗刷筒6，所述清洗刷筒6的数量设置有一对，每个清洗刷筒6转动连接在相平行的两个支板一531上，所述支板一531上设置有用于驱动一对清洗刷筒6转动的旋转电机三61； 挤压移动结构7，所述挤压移动结构7的数量和所述支板二532的数量相同，所述挤压移动结构7设置在所述支板二532上； 晶圆干燥结构8，所述晶圆干燥结构8的数量设置有一对，每个晶圆干燥结构8包括设置在一对挤压移动结构7上的过热蒸汽管81、设置在所述过热蒸汽管81上的蒸汽喷头82和固定连通在所述过热蒸汽管81上的密封伸缩管83，所述密封伸缩管83背向所述过热蒸汽管81的一端设置在蒸汽进管521上； 所述密封伸缩管83包括外管831、活动插接在所述外管831内的内管832和无缝连接在所述外管831一端的密封环833，所述内管832滑动连接在所述密封环833中，所述外管831与所述过热蒸汽管81相连通，所述内管832与所述蒸汽进管521相连通； 每个过热蒸汽管81上设置有一对转动平衡结构9，所述挤压移动结构7和超声波清洗箱2上设置有辅助推动组件； 当旋转架体5带动过热蒸汽管81旋转并靠近超声波清洗箱2时，所述挤压移动结构7通过辅助组件带动过热蒸汽管81远离超声波清洗箱2并升起移动。

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