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深圳镭赫技术有限公司飞利浦·肖恩·加斯塔尔多获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳镭赫技术有限公司申请的专利处理方法和处理设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118712086B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410917456.8,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权处理方法和处理设备是由飞利浦·肖恩·加斯塔尔多;李青格乐;张军;王岩松设计研发完成,并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

处理方法和处理设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种处理方法和处理设备,其中,处理方法包括:使待测物与处理装置沿第一轴进行第一相对移动并通过第一模块对所述待测物进行第一处理;所述处理装置包括第一模块和第二模块;使待测物与处理装置沿第一轴进行第一相对移动的过程中使第二模块与待测物沿所述第一轴进行第二相对移动并通过第二模块对所述待测物进行第二处理,其中,所述第二模块与所述待测物沿所述第一轴的相对移动速度不同于所述第一模块与所述待测物沿所述第一轴的相对移动速度。提高处理设备的处理效率。

本发明授权处理方法和处理设备在权利要求书中公布了:1.一种处理方法,其特征在于,包括: 使待测物与处理装置沿第一轴进行第一相对移动并通过第一模块对所述待测物进行第一处理;所述处理装置包括第一模块和第二模块;所述第二模块的曝光时间大于所述第一模块的曝光时间,或所述第二模块的放大倍率大于第一模块的放大倍率; 使待测物与处理装置沿第一轴进行第一相对移动的过程中使第二模块与待测物沿所述第一轴进行第二相对移动并通过第二模块对所述待测物进行第二处理,其中,所述第二模块与所述待测物沿所述第一轴的相对移动速度不同于所述第一模块与所述待测物沿所述第一轴的相对移动速度,包括: 使所述待测物相对于所述第一模块沿第一轴的正方向移动的过程中,所述第一模块对所述待测物进行第一处理时沿第一轴保持固定,所述第二模块对所述待测物进行第二处理的过程中沿所述第一轴的正方向移动,所述第二模块沿所述第一轴的正方向移动的速率小于所述待测物沿第一轴移动的速率的两倍; 或者,使所述待测物相对于所述第一模块沿第一轴的正方向移动的过程中,所述第二模块对所述待测物第二处理时沿第一轴保持固定,所述第一模块对所述待测物进行第一处理的过程中沿所述第一轴的反方向移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳镭赫技术有限公司,其通讯地址为:518063 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南九道10号深圳湾科技生态园10栋503;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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