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龙图腾网获悉准力机械股份有限公司申请的专利一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117484377B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311017896.X，技术领域涉及：B24B37/08；该发明授权一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备是由林馨堂;林志杰;何啟成设计研发完成，并于2023-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备，包括一管状的轴套、数个止泄环、一枢接管及一连接构造，其中轴套的内部形成一第一流道及一第二流道，枢接管环套轴套，枢接管形成一第一连通道及一第二连通道，第一流道通过第一连通道连通一下研磨盘内部的冷却水道，第二流道通过第二连通道连通冷却水道，据使冷却水循环流动，从而降温冷却下研磨盘，连接构造对应轴套及枢接管的一端配置，连接构造可移除地连接枢接管及一驱动轴，据使驱动轴通过连接构造及枢接管驱动下研磨盘旋转。

本发明授权一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨设备的研磨盘冷却系统的中间设备，所述的晶圆研磨设备具有一动力装置、一下研磨盘及一研磨盘冷却系统，动力装置通过一驱动轴驱动下研磨盘旋转，从而研磨晶圆片的一侧，所述的研磨盘冷却系统用于对下研磨盘提供冷却水； 所述的中间设备，其特征在于包括： 一管状的轴套环套于驱动轴的径向外周，且轴套连接晶圆研磨设备的固定结构，轴套具有一第一端及一第二端，第一端及第二端分别位于轴套沿其轴向的两端，第一端及固定结构相邻，轴套的内部形成一第一流道及一第二流道，轴套的径向外周凹陷一第一环道、一第二环道及数个嵌槽，第一环道、第二环道及各嵌槽分别沿着轴套的圆周方向环绕轴套，第一流道的一端连通第一环道，另一端延伸至第一端用于连通一入水道，第二流道的一端连通第二环道，另一端延伸至第一端连通一出水道，各嵌槽分别配置在第一端、第一环道、第二环道及第二端之间； 数个止泄环分别嵌设于各嵌槽； 一枢接管环套于轴套的径向外周，且各止泄环分别紧密抵靠枢接管的径向内周，枢接管用于连接下研磨盘，并随同下研磨旋转，枢接管的内部形成一第一连通道及一第二连通道，第一连通道的一端延伸至枢接管的径向内缘并对应连通第一环道，第一连通道的另一端延伸至枢接管的外缘对应连通下研磨盘内部的冷却水道，第二连通道的一端延伸至枢接管的径向内缘并对应连通第二环道，第二连通道的另一端延伸至枢接管的外缘对应连通冷却水道； 一环状的连接构造，连接构造对应轴套的第二端配置，连接构造可移除地连接枢接管及驱动轴，驱动轴通过连接构造及枢接管驱动下研磨盘旋转。

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