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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种光纤探头表面超透镜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117075236B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311249195.9，技术领域涉及：G02B3/08；该发明授权一种光纤探头表面超透镜的制备方法是由黎相孟;魏慧芬;赵韡;张雅君;冯昕宇设计研发完成，并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光纤探头表面超透镜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光纤探头技术领域，具体是一种光纤探头表面超透镜的制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：S1：制备热氧化层A；S2：旋涂电子束光刻胶层；S3：刻蚀形成M组纳米窗口A；S4：刻蚀形成M组纳米窗口B；S5：刻蚀形成M组纳米凹孔；S6：制备M组热氧化层B；S7：施加光固化浆料；S8：光固化浆料填充到M组纳米凹孔内；S9：刮除M组纳米凹孔外的光固化浆料；S10：涂覆光固化树脂；S11：M组纳米凹孔内的光固化浆料固化形成M组纳米凸起；S12：M个超透镜从M组纳米凹孔内脱出；S13：将M个光纤探头分离开来。本发明解决了现有超透镜制备方法制备效率低、制备质量差、制备成本高的问题，适用于超透镜制备。

本发明授权一种光纤探头表面超透镜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种光纤探头表面超透镜的制备方法，其特征在于：该方法是采用如下步骤实现的： S1：在硅基底1的上表面制备热氧化层A2； S2：在热氧化层A2的上表面旋涂电子束光刻胶层3； S3：采用电子束直写光刻技术和刻蚀技术在电子束光刻胶层3上刻蚀形成M组纳米窗口A4，每组纳米窗口A4均包括N个纳米窗口A4，热氧化层A2通过M组纳米窗口A4暴露出来，由此形成M组暴露区域；M为正整数，且M≥2；N为正整数，且N≥2； S4：采用等离子体刻蚀技术在热氧化层A2的M组暴露区域一一对应地刻蚀形成M组纳米窗口B5，硅基底1通过M组纳米窗口B5暴露出来，由此形成M组暴露区域； S5：采用等离子体刻蚀技术在硅基底1的M组暴露区域一一对应地刻蚀形成M组纳米凹孔6； S6：去除电子束光刻胶层3，并在M组纳米凹孔6的孔壁一一对应地制备M组热氧化层B7，然后采用等离子体镀膜机在热氧化层A2的上表面和M组热氧化层B7的表面同时蒸镀氟碳层8； S7：在氟碳层8和M组纳米凹孔6的上方设置导电玻璃9，并在氟碳层8与导电玻璃9之间、M组纳米凹孔6与导电玻璃9之间施加光固化浆料10，光固化浆料10同时覆盖氟碳层8和M组纳米凹孔6；然后，将交流电源11的一端与硅基底1连接，将交流电源11的另一端通过开关12与导电玻璃9连接； S8：闭合开关12，使得交流电源11接通，由此使得光固化浆料10在电场作用下填充到M组纳米凹孔6内； S9：撤去导电玻璃9、交流电源11、开关12，并采用刮板13刮除M组纳米凹孔6外的光固化浆料10； S10：将M个光纤探头14集合成束，并在每个光纤探头14的下表面均涂覆一层光固化树脂15，然后将M层光固化树脂15与M组纳米凹孔6内的光固化浆料10一一对准； S11：将M层光固化树脂15一一对应地压接于M组纳米凹孔6内的光固化浆料10上，并将光线同时导入M个光纤探头14，由此一方面使得M层光固化树脂15在光线照射下固化形成M个黏结层16，另一方面使得M组纳米凹孔6内的光固化浆料10在光线照射下固化形成M组纳米凸起17，每组纳米凸起17均共同构成一个超透镜，M个超透镜一一对应地通过M个黏结层16固定于M个光纤探头14的下表面； S12：施加脱模力，使得M个超透镜从M组纳米凹孔6内脱出； S13：将M个光纤探头14分离开来。

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