西北工业大学冯丽萍获国家专利权
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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种多功能M-C/G复合涂层、制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116988027B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311059379.9,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种多功能M-C/G复合涂层、制备方法及应用是由冯丽萍;李佳辉;李傲;李焕勇设计研发完成,并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多功能M-C/G复合涂层、制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一种多功能M‑CG复合涂层、制备方法及应用,采用一种多点共溅射的方法在金属衬底表面先制备一种M‑CM指Cr、Ti、Nb等金属混合涂层,再采用负偏压溅射方法在M‑C涂层表面制备一层超薄、平整的GG指Au、Pd、Pt等贵金属纳米涂层,形成一种M‑CG复合涂层。采用此方法制备的M‑CG复合涂层具有多功能特性,即不仅具有优异的耐腐蚀性,还具有优良的导电特性和疏水特性,满足美国能源部提出的DOE技术指标,可以作为一种商业化应用的金属双极板表面改性方案。
本发明授权一种多功能M-C/G复合涂层、制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种多功能M-CG复合涂层的制备方法,其特征在于:步骤如下: 将靶材安装在接通射频功率源的靶位上,金属衬底固定在真空室内的样品托上,采用多点共溅射的方法在金属衬底表面制备M-C混合涂层,M指Cr、Ti或Nb金属;制备M-C混合涂层的射频功率为200~400W; 再采用负偏压溅射方法在M-C混合涂层表面制备G贵金属涂层纳米涂层,得到M-CG复合涂层;制备G贵金属涂层纳米涂层的负偏压为-200~-300V,直流功率为200~300W; 所述多点共溅射的方法在金属衬底表面制备M-C混合涂层时,靶材是在石墨靶的溅射环带内均匀放置多片高纯金属M片,构成由石墨靶和金属片组成的M-C复合靶; 所述负偏压溅射方法在M-C混合涂层表面制备超薄G纳米涂层时,施加负向偏压,靶材是高纯G靶,沉积时间不超过7分钟;所述G靶包括Au、Pd或Pt贵金属; 所述M-C混合涂层为化学计量比可调的混合物涂层,由sp2键的单质C、sp3键的单质C、单质M、碳化M、氧化M多种物质组成;所述G纳米涂层为表面致密、平整、厚度不超过20nm的超薄贵金属纳米涂层; 所述M-CG复合涂层用于金属双极板表面增强耐腐蚀性、减小接触电阻、改善疏水特性。
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