拓荆科技(上海)有限公司张佳琦获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利旋转加热装置、气相沉积设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116837353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310814758.8，技术领域涉及：C23C16/46；该发明授权旋转加热装置、气相沉积设备和方法是由张佳琦;尹艳超;张艳娟;谭华强;吴凤丽设计研发完成，并于2023-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转加热装置、气相沉积设备和方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种旋转加热装置、气相沉积设备和方法，涉及半导体技术领域。旋转加热装置包括承载部、驱动机构以及加热机构。承载部具有用于承载晶圆的承载面，承载部内设置有加热通道，加热通道具有入口和出口。驱动机构与承载部传动连接，用于驱动承载部旋转。加热机构用于向加热通道输送热媒。由于承载盘可以在驱动机构的驱动下转动，在转动的过程中成膜，能够改善因反应腔室内温度场、流场不均导致的晶圆表面气体难以均匀分布的问题，从而改善成膜质量。另外，通过向承载部内注入热媒来控制承载部的温度，能够使承载部保持在合适的工艺温度，并且承载部温度均匀，有利于提高沉积质量。
本发明授权旋转加热装置、气相沉积设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种旋转加热装置，其特征在于，包括： 承载部，具有用于承载晶圆的承载面，所述承载部内设置有加热通道，所述加热通道具有入口和出口，所述入口和所述出口均设置在所述承载部的中部；其中，所述加热通道包括曲率半径不同的多个弧形通道，各个所述弧形通道的同心设置且曲率中心位于所述承载部的转动轴线上，各个所述弧形通道依次连通； 驱动机构，与所述承载部传动连接，用于驱动所述承载部旋转； 加热机构，与所述入口和所述出口形成环路，所述加热机构用于加热所述环路中的热媒并驱动所述热媒循环流动； 其中，热媒从所述入口进入后，先进入到最内侧的一个弧形通道内，然后通过一段直线通道进入到最外侧的弧形通道，接着再从外至内的逐层地进入到内侧的各个弧形通道，最终从所述出口流出。
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