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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116770254B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310916443.4，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法是由刘振新;冯长卫;黄周师;吴毛兵;屈新成;何坤鹏设计研发完成，并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法在说明书摘要公布了：提供一种在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法。在线膜厚测试装置用于安装在气相运输沉积的沉积室上。沉积室设置有第一透窗和第二透窗。在线膜厚测试装置包括固定架、测高装置、膜厚测试仪以及运动装置。固定架安装在沉积室上。测高装置固定安装在固定架上，测高装置具有第一探测头，第一探测头对准第一透窗。膜厚测试仪具有第二探测头，第二探测头对准第二透窗，膜厚测试仪内置有标准测距。运动装置安装在固定架上，运动装置连接于膜厚测试仪以使在沉积完成后基板的镀膜的点位随着对应传动辊轮的传输到达第二探测头的正下方时第二探测也处于与到达第二探测头的正下方的点位相距标准测距的高度、进而第二探测头进行镀膜的膜厚测量。

本发明授权在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法在权利要求书中公布了：1.一种在线膜厚测试装置，其特征在于， 在线膜厚测试装置100用于安装在气相运输沉积的沉积室200上； 沉积室200内安装有在高度方向Z上对齐、在长度方向X上间隔排列的多个传动辊轮300，沉积室200在长度方向X的两端设有入口400和出口500，沉积室200被加热以维持气相运输沉积所要求的沉积室200内的沉积温度，沉积室200内部连通于供给载气和镀膜材料的蒸汽的供料源，沉积室200内部连通于流通式地维持沉积室200内部真空度的抽真空装置，多个传动辊轮300用于承载从入口400进入的多个基板600并将多个基板600在长度方向X上彼此间隔地向出口500运送，在出口500和入口400之间的沉积位置DP，通入沉积室200的由载气运输的镀膜材料的蒸汽对到达该位置的对应的基板600进行沉积镀膜，沉积室200的顶壁200a在与沉积位置DP紧邻的下游设置有第一透窗W1和第二透窗W2； 在线膜厚测试装置100包括固定架1、测高装置2、膜厚测试仪3以及运动装置4， 固定架1安装在沉积室200的顶壁200a上并位于第一透窗W1和第二透窗W2之间， 测高装置2固定安装在固定架1上，测高装置2具有第一探测头21，第一探测头21在高度方向Z上对准第一透窗W1，测高装置2用于测量沉积完成后基板600的镀膜的点位P所处的高度Zp； 膜厚测试仪3具有第二探测头31，第二探测头31在高度方向Z上对准第二透窗W2，第二探测头31沿第二轴线311竖直向下出射光并接收沿第二轴线311竖直反射的光，第二探测头31的第二轴线311与第一探测头21的第一轴线211处于高度方向Z和长度方向X构成的平面内且彼此平行，膜厚测试仪3用于测量沉积完成后基板600的镀膜的点位P所处的膜厚，膜厚测试仪3内置有标准测距Zb； 运动装置4安装在固定架1上，运动装置4连接于膜厚测试仪3以控制膜厚测试仪3在高度方向Z上下竖直运动，以使在沉积完成后基板600的镀膜的点位P随着对应传动辊轮300的传输到达第二探测头31的正下方时，第二探测头31也处于与到达第二探测头31的正下方的点位P相距标准测距Zb的高度，进而第二探测头31进行镀膜的膜厚测量。

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