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龙图腾网获悉无锡邑文电子科技有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种气缸装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116557375B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310560884.5，技术领域涉及：F15B15/14；该发明授权一种气缸装置及半导体设备是由戴建波;孙文彬;朱磊设计研发完成，并于2023-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气缸装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明的实施例提供了一种气缸装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。气缸装置包括第一固定件、第二固定件、气缸组件以及调节组件。第一固定件与第二固定件均用于与外部框架连接。气缸组件的一端通过调节组件与第一固定件连接，另一端与第二固定件连接。通过调节组件调节气缸组件与外部框架之间的距离，以使得气缸组件和外部框架之间的距离达到预设距离，从而减少装配及加工误差，提高了气缸装置的精度以及装配效率；此外，还可通过调节组件调整气缸组件的平整度，以提高气缸组件运行的稳定性，从而提高气缸装置的操控性能。

本发明授权一种气缸装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种气缸装置，其特征在于，包括第一固定件100、第二固定件200、气缸组件400以及调节组件300； 所述第一固定件100与所述第二固定件200均用于与外部框架连接； 所述气缸组件400的一端通过调节组件300与所述第一固定件100连接，另一端与所述第二固定件200连接，所述调节组件300用于调节所述气缸组件400与所述外部框架之间的距离； 所述调节组件300包括第一紧固件310和第一弹性件320，所述气缸组件400的一端通过所述第一紧固件310与所述第一固定件100连接，另一端与所述第二固定件200连接，所述第一弹性件320位于所述第一固定件100和所述气缸组件400之间，所述第一紧固件310用于调节所述第一固定件100和所述气缸组件400之间的距离； 所述气缸组件400包括气缸410以及第一连接件420，所述气缸410的一端的一侧与所述第一连接件420连接，所述第一固定件100通过所述第一紧固件310与所述第一连接件420连接，所述第一弹性件320设置于所述第一固定件100和所述第一连接件420之间； 所述气缸组件400还包括第二连接件430，所述第二连接件430与所述气缸410远离所述第一连接件420的一端连接，所述第二连接件430与所述第二固定件200间隔设置； 所述气缸装置还包括定位球500，所述第二连接件430设置有第一凹槽431，所述第二固定件200设置有第二凹槽210，所述第一凹槽431和所述第二凹槽210相对设置且均与所述定位球500适配，所述定位球500部分容置于所述第一凹槽431和所述第二凹槽210，以使所述第二连接件430可相对所述第二固定件200转动。

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