HOYA株式会社今敷修久获国家专利权
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龙图腾网获悉HOYA株式会社申请的专利显示装置制造用光掩模、以及显示装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116500854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310372114.8,技术领域涉及:G03F1/26;该发明授权显示装置制造用光掩模、以及显示装置的制造方法是由今敷修久设计研发完成,并于2018-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本显示装置制造用光掩模、以及显示装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种显示装置制造用光掩模,其能够在被转印体上稳定地形成微细的孔图案。该显示装置制造用光掩模构成为在透明基板上具有转印用图案,转印用图案包括:由四边形的透光部构成的主图案;由配置于主图案的周边的相移部构成的辅助图案;以及形成于主图案和辅助图案以外的范围的低透光部,当在主图案的周边定义包围主图案的、规定宽度的正八边形带时,辅助图案构成正八边形带的至少局部,将转印用图案所包括的多个主图案之一设为第一主图案,与第一主图案不同的第二主图案配置于接近第一主图案的位置,在构成包围第一主图案的正八边形带的八个区块中的、面对第二主图案侧的至少一个区块具有缺失的辅助图案配置于第一主图案的周边。
本发明授权显示装置制造用光掩模、以及显示装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种显示装置制造用光掩模,其在透明基板上具有转印用图案,其特征在于, 所述转印用图案包括: 主图案,其由透光部构成; 辅助图案,其由配置于所述主图案的周边的相移部构成;以及低透光部,其形成于除所述主图案和所述辅助图案以外的范围, 所述辅助图案附随于所述主图案而配置于所述主图案的周围, 所述主图案与所述辅助图案之间的相位差为120~240度, 在将所述转印用图案所包括的多个所述主图案之一设为第一主图案时,与所述第一主图案不同的第二主图案配置于接近所述第一主图案的位置, 附随所述第一主图案的辅助图案在面对所述第二主图案的一侧具有缺失, 所述相移部是在所述透明基板上形成有相移膜而成的, 所述相移膜的曝光用光所包括的代表波长的折射率为1.5~2.9, 所述相移膜相对于所述曝光用光的所述代表波长的透射率T1为20%~80%,并且所述相移膜使所述曝光用光的相位偏移120~240度。
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