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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利冷却系统及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116447823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210010557.8，技术领域涉及：F25D31/00；该发明授权冷却系统及其使用方法是由卢康设计研发完成，并于2022-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本冷却系统及其使用方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种冷却系统及其使用方法。其中，所述冷却系统包括：设置于设备内的冷却管，冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度；设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中，所述存储腔；用于存储所述冷却媒介；所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间；所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间；所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门。

本发明授权冷却系统及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种冷却系统，其特征在于，包括： 设置于设备内的冷却管，冷却管内流经的冷却媒介用于冷却所述设备，以维持所述设备内的温度； 设置于所述冷却管上的第一阀门、第二阀门和第三阀门，底部与所述冷却管连通的存储腔；其中， 所述存储腔，用于存储所述冷却媒介； 所述第一阀门，位于所述冷却管的进水口与所述存储腔之间，用于防止所述存储腔中的冷却媒介倒流； 所述第二阀门，位于所述存储腔与所述设备内的待冷却对象之间，用于控制所述冷却管的连通与关闭； 所述第三阀门，位于所述冷却管的出水口与所述待冷却对象之间，用于防止冷却媒介倒流，且第一阀门和第三阀门均为单向阀门； 位于所述存储腔中的液位检测组件，用于检测所述存储腔中所述冷却媒介的液位； 控制组件，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门的接通与关闭； 报警组件，用于发出报警信息；所述控制组件，还用于在所述液位检测组件检测到所述冷却媒介的液位低于第一液位线时，控制所述报警组件发出报警信息； 位于所述冷却管上的流量检测控制器，用于检测并控制所述冷却媒介经过所述待冷却对象时所述冷却媒介的流量； 所述设备为半导体机台，所述待冷却对象为反应腔室。

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