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江西兆九光电技术有限公司汤兆胜获国家专利权

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龙图腾网获悉江西兆九光电技术有限公司申请的专利多腔法布里-珀罗滤光片的蒸镀方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116411246B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310043471.X,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权多腔法布里-珀罗滤光片的蒸镀方法是由汤兆胜设计研发完成,并于2023-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

多腔法布里-珀罗滤光片的蒸镀方法在说明书摘要公布了:本发明涉及多腔法布里‑珀罗滤光片的蒸镀方法,包括耦合层的蒸镀步骤,采用光学监控法监控耦合层的光学厚度,监控光的频率控制为基频的二倍或更多整数倍。本发明的上述蒸镀方法能够准确的控制包括耦合层在内的各膜层的光学厚度,从而使得所制备的滤光片滤光曲线与理论设计曲线更加贴近。上述方法尤其适用制造诸如近红外滤光片等具有极陡上升沿、下降沿,截止深度深的滤光片。

本发明授权多腔法布里-珀罗滤光片的蒸镀方法在权利要求书中公布了:1.多腔法布里-珀罗滤光片的蒸镀方法,包括耦合层的蒸镀步骤,其特征在于采用光学监控法监控耦合层的光学厚度,监控光的频率控制为基频的二倍或更多整数倍; 监控的耦合层经过两个或更多个光强信号极值时停止耦合层的蒸镀; 包括在蒸镀一层耦合层后,在下一膜层的蒸镀中对于该层耦合层的光学厚度进行补偿的步骤; 所述的光学监控法还用于监控其他膜层的光学厚度,所述的其他膜层包括反射膜堆、腔层、预镀层、增透层中的一种或多种膜层; 所述的多腔法布里-珀罗滤光片用于近红外光的滤光。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西兆九光电技术有限公司,其通讯地址为:334113 江西省上饶市上饶经济技术开发区龙门路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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