芯恩(青岛)集成电路有限公司姚云龙获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利光罩夹取装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223986279U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520499785.5,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型光罩夹取装置是由姚云龙;李函霏设计研发完成,并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩夹取装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种光罩夹取装置。该光罩夹取装置,包括:夹取模组、横梁、驱动模组、第一按键以及手柄,驱动模组位于横梁上,夹取模组与驱动模组传动连接,手柄与横梁连接,第一按键位于手柄上,第一按键与驱动模组电连接,第一按键可以启动驱动模组工作驱动夹取模组夹取光罩库中存放的第一光罩。本申请的技术方案,可以通过光罩夹取装置自动地夹取光罩库中存放的第一光罩,可以避免依靠工程师进行手动其取出的危险操作,将光罩从光罩库中安全地取出来。
本实用新型光罩夹取装置在权利要求书中公布了:1.一种光罩夹取装置,其特征在于,包括:夹取模组、横梁、驱动模组及手柄; 所述驱动模组位于所述横梁上,所述夹取模组与所述驱动模组传动连接,所述手柄与所述横梁连接; 所述夹取模组包括对称设置的第一夹爪、第二夹爪,以及对称设置的第一曲柄连杆机构、第二曲柄连杆机构,和对称设置的第一动力齿轮、第二动力齿轮,和基板;所述第一夹爪通过所述第一曲柄连杆机构与所述第一动力齿轮连接,所述第二夹爪通过所述第二曲柄连杆机构与所述第二动力齿轮连接,所述第一动力齿轮和第二动力齿轮均设置于所述基板上,所述第一动力齿轮和所述第二动力齿轮啮合,并通过转动带动所述第一夹爪和所述第二夹爪相互远离或者靠近,所述第一曲柄连杆和所述第二曲柄连杆通过形变保证所述第一夹爪和所述第二夹爪保持相互平行。
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