江苏新顺微电子股份有限公司顾军魏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223986278U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520392876.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置是由顾军魏;龚宇科;沈龙华;杨辉;顾顺佳;戴杨;陈林;孔成伟设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置，属于集成电路或分立器件等芯片制造技术领域。包括电介质膜反射镜，所述电介质膜反射镜设于汞灯下方，所述电介质膜反射镜外侧设有G2反射镜；所述电介质膜反射镜下方设有光强检测传感器，所述光强检测传感器通过信号转换器与曝光控制器信号连接；所述汞灯发出的光源包括长波段光源和短波段光源，所述长波段光源经电介质膜反射镜反射于G2反射镜，而后收集于桶式透镜；所述短波段光源经电介质膜反射镜透射于光强检测传感器，所述光强检测传感器对透射光的光照强度进行检测。本申请能够检测光源光照强度，并将光照强度信号转化为曝光动作的通断信号，使得光照强度与曝光动作相关联。
本实用新型一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置在权利要求书中公布了：1.一种光源光照强度与曝光运行相关联的连锁装置，其特征在于：包括电介质膜反射镜，所述电介质膜反射镜倾斜设于汞灯下方，所述电介质膜反射镜外侧设有G2反射镜；所述电介质膜反射镜下方设有光强检测传感器，所述光强检测传感器通过信号转换器与曝光控制器连接；所述汞灯发出的光源包括长波段光源和短波段光源，所述长波段光源经电介质膜反射镜反射于G2反射镜，而后收集于桶式透镜，形成均匀光束，均匀光束透过掩膜版，将掩膜版上的图案透射于晶圆；所述短波段光源经电介质膜反射镜透射于光强检测传感器，所述光强检测传感器对透射光的光照强度进行检测，且检测数据通过信号转换器转换为曝光控制器的通断信号，进而控制光刻机曝光动作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏新顺微电子股份有限公司，其通讯地址为：214400 江苏省无锡市江阴市长山大道78号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励