深圳市龙图光罩股份有限公司邵康节获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市龙图光罩股份有限公司申请的专利能够防溅射的掩模版清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223986276U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520807558.4，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型能够防溅射的掩模版清洗设备是由邵康节;白永智设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本能够防溅射的掩模版清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于掩模版清洗领域，尤其涉及一种能够防溅射的掩模版清洗设备，包括：清洗腔；载板台，用于水平承载掩模版；旋转电机，设于所述清洗腔内，并用于带动所述载板台绕一竖直轴线转动；防溅射罩，由聚四氟乙烯材料制成，并呈圆筒状，且竖直设置，所述防溅射罩开设有多个贯通内外且呈阵列布置的贯通孔，所述防溅射罩的内外筒壁面的摩擦系数为0.04‑0.1；其中，所述载板台设于所述防溅射罩内，并与所述防溅射罩内壁面间隔设置。本实用新型避免了液体飞溅至腔体壁面积累后反弹污染掩模版的问题。
本实用新型能够防溅射的掩模版清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种能够防溅射的掩模版清洗设备，其特征在于，包括： 清洗腔； 载板台，用于水平承载掩模版； 旋转电机，设于所述清洗腔内，并用于带动所述载板台绕一竖直轴线转动； 防溅射罩，由聚四氟乙烯材料制成，并呈圆筒状，且竖直设置，所述防溅射罩开设有多个贯通内外且呈阵列布置的贯通孔，所述防溅射罩的内外筒壁面的摩擦系数为0.04-0.1； 其中，所述载板台设于所述防溅射罩内，并与所述防溅射罩内壁面间隔设置。
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