嘉兴九纵智能科技有限公司王孟哲获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴九纵智能科技有限公司申请的专利一种围水组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223986026U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520082434.4,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种围水组件是由王孟哲;梁正南;赖勉力;李恩全;刘文义;李荣设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种围水组件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆检测技术领域,具体地说,涉及一种围水组件。包括升降机构和围水机构,围水机构分为注水模块、围水模块和吸水模块。注水模块通过多个注水口均匀向晶圆背膜注水,提高成像质量;围水模块利用硅胶隔水条形成密封的围水区域,防止液体流出;吸水模块则通过吸水盖板上的吸水孔吸附流出的水,避免晶圆表面其他区域被浸润。升降机构可根据需要调整高度,适应不同尺寸的晶圆或检测设备。本实用新型将注水口和吸水口分开设置,实现了一边注水一边吸水,即使围水模块失效,也能防止其他区域被打湿,保持水流平缓,成像效果稳定。
本实用新型一种围水组件在权利要求书中公布了:1.一种围水组件,其特征在于:包括固定在晶圆检测设备一侧外壁上的升降机构200,及与升降机构200固定连接的围水机构100;围水机构100包括用于对晶圆背膜注水的注水模块110,注水模块110的外壁处设有密封晶圆背膜检测区域的围水模块120;围水模块120的外侧固定连接有用于吸水的吸水模块130。
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