宁波水表(集团)股份有限公司乌昕获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波水表(集团)股份有限公司申请的专利一种声集成传感芯片获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223985773U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423034669.0,技术领域涉及:G01H5/00;该实用新型一种声集成传感芯片是由乌昕;陈伟;徐磊;刘奇;张珊波设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种声集成传感芯片在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种声集成传感芯片包括振速敏感单元、声压敏感单元和硅基衬底,所述硅基衬底设置有空腔凹槽,所述振速敏感单元和所述声压敏感单元均悬架于同一空腔凹槽上,所述振速敏感单元用于将振速信号转换为电信号,所述声压敏感单元用于将声压信号转换为电信号。将振速敏感单元和声压敏感单元集成在同一硅基衬底上,解决了传统技术多物理量传感器结构集成的体积大、安装困难等行业技术难点。通过振速敏感单元和声压敏感单元键合代替结构拼接,降低封装难度、减小设备体积,使传感器易于量产,拓宽使用场景。
本实用新型一种声集成传感芯片在权利要求书中公布了:1.一种声集成传感芯片,其特征在于:包括振速敏感单元、声压敏感单元和硅基衬底,所述硅基衬底设置有空腔凹槽,所述振速敏感单元和所述声压敏感单元均悬架于同一空腔凹槽上,所述振速敏感单元用于将振速信号转换为电信号,所述声压敏感单元用于将声压信号转换为电信号。
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