浙江创芯集成电路有限公司林飞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利目检机台宏观检测光源装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223985098U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520868834.8,技术领域涉及:F21V9/00;该实用新型目检机台宏观检测光源装置是由林飞设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本目检机台宏观检测光源装置在说明书摘要公布了:一种目检机台宏观检测光源装置,包括:光源模组,具有微调旋钮,用于对光源模组中的光源参数进行调节;滤光组件,具有若干不同色彩的滤光片,用于对光源模组发出的光线进行滤光;第一光传导组件,第一光传导组件用于将滤光后的光线传输至目检机台;多角度照射组件,多角度照射组件用于将传输至目检机台以不同的角度照射至待检测晶圆上。通过微调旋钮能够实现对光源参数的微量化的调节,以此增加光源参数的调整选择。滤光组件能够对光源模组发出的光线进行滤光处理,使得光线具有更多的色彩选择。多角度照射组件能够具有更多的角度选择照射至待检测晶圆上。以此能够在目检过程中提供更多光源条件的选择,进而有效减少漏检概率,提高产品良率。
本实用新型目检机台宏观检测光源装置在权利要求书中公布了:1.一种目检机台宏观检测光源装置,其特征在于,包括: 光源模组,所述光源模组具有微调旋钮,所述微调旋钮用于对所述光源模组中的光源参数进行调节; 滤光组件,所述滤光组件具有若干不同色彩的滤光片,所述滤光片用于对所述光源模组发出的光线进行滤光; 第一光传导组件,所述第一光传导组件与所述光源模组连接,所述第一光传导组件用于将所述滤光后的光线传输至所述目检机台; 多角度照射组件,所述多角度照射组件用于将传输至所述目检机台以不同的角度照射至待检测晶圆上。
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