上海新傲芯翼科技有限公司汪子文获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲芯翼科技有限公司申请的专利一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121374440B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511970433.4，技术领域涉及：B24D5/16；该发明授权一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法是由汪子文;戴荣旺;胡家丹;魏星;李炜设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法，砂轮包括主体部和研磨部；研磨部的顶面为垂直于主体部的轴线的平面，研磨部的底面形成有向着远离研磨部的顶面的方向倾斜的第一研磨面以及向着靠近研磨部的顶面的方向倾斜且一端与第一研磨面连接的第二研磨面，第二研磨面的另一端与主体部连接，第一研磨面靠近主体部的端部至研磨部的顶面的距离大于第二研磨面靠近主体部的端部至研磨部的顶面的距离；第一研磨面与基准平面具有第一锐角，第二研磨面与基准平面具有第二锐角，第二锐角小于第一锐角，基准平面垂直于主体部的轴线。砂轮用于在制造晶圆的过程中对晶圆原片进行研磨以实现边缘去除，砂轮的应用可提高制得的晶圆的边缘质量。
本发明授权一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法在权利要求书中公布了：1.一种砂轮，其特征在于，包括： 圆柱形的主体部；以及， 研磨部，设于所述主体部的外周面上；所述研磨部的顶面和底面在所述主体部的轴向上相对，所述研磨部的顶面为一垂直于所述主体部的轴线的平面，所述研磨部的底面形成有向着远离所述研磨部的顶面的方向倾斜的第一研磨面以及向着靠近所述研磨部的顶面的方向倾斜且一端与所述第一研磨面连接的第二研磨面，所述第二研磨面的另一端与所述主体部连接，所述第一研磨面靠近所述主体部的端部至所述研磨部的顶面的距离大于所述第二研磨面靠近所述主体部的端部至所述研磨部的顶面的距离；所述第一研磨面与基准平面具有第一锐角，所述第二研磨面与所述基准平面具有第二锐角，所述第二锐角小于所述第一锐角，所述基准平面垂直于所述主体部的轴线； 通过所述第一研磨面和所述第二研磨面对器件片原片进行研磨，以使所述器件片原片有部分被磨去并形成与所述第一研磨面和所述第二研磨面相匹配的缺口。
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