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上海新傲芯翼科技有限公司汪子文获国家专利权

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龙图腾网获悉上海新傲芯翼科技有限公司申请的专利一种砂轮组件及晶圆制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121374439B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511970415.6,技术领域涉及:B24D5/16;该发明授权一种砂轮组件及晶圆制造方法是由汪子文;戴荣旺;胡家丹;魏星;李炜设计研发完成,并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种砂轮组件及晶圆制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种砂轮组件及晶圆制造方法,砂轮组件包括第一砂轮,第一砂轮包括圆柱形的第一主体部和形成于第一主体部的外周面的第一研磨部,第一研磨部的顶面为平面,第一研磨部的底面部分地向远离第一研磨部的顶面的方向倾斜并形成有第一研磨面以及一端与第一研磨面连接的第二研磨面,第二研磨面的另一端与第一主体部连接;第一研磨面靠近第一主体部的端部至第一研磨部的顶面的距离小于第二研磨面靠近第一主体部的端部至第一研磨部的顶面的距离,第一研磨面与第一主体部的轴线方向具有第一锐角,第二研磨面与第一主体部的轴线方向具有第二锐角,第一锐角小于第二锐角。利用砂轮组件对晶圆原片研磨以实现边缘去除时,可减少崩边。

本发明授权一种砂轮组件及晶圆制造方法在权利要求书中公布了:1.一种砂轮组件,其特征在于,包括:供安装于倒角机的第一砂轮,所述第一砂轮包括圆柱形的第一主体部和形成于所述第一主体部的外周面上的第一研磨部,所述第一研磨部的顶面为一垂直于所述第一主体部的轴线的平面,所述第一研磨部的底面部分地向着远离所述第一研磨部的顶面的方向倾斜并形成有第一研磨面以及一端与所述第一研磨面连接的第二研磨面,所述第二研磨面的另一端与所述第一主体部连接;所述第一研磨面靠近所述第一主体部的端部至所述第一研磨部的顶面的距离小于所述第二研磨面靠近所述第一主体部的端部至所述第一研磨部的顶面的距离,所述第一研磨面与所述第一主体部的轴线方向具有第一锐角,所述第二研磨面与所述第一主体部的轴线方向具有第二锐角,所述第一锐角小于所述第二锐角;以及, 供安装于所述倒角机的第二砂轮,所述第二砂轮包括圆柱形的第二主体部和形成于所述第二主体部的外周面上的第二研磨部,所述第二研磨部的顶面为一垂直于第二主体部的轴线的平面,所述第二研磨部的底面部分地向着远离所述第二研磨部的顶面的方向倾斜并形成为第四研磨面,所述第四研磨面与所述第二主体部的轴线方向限定出第三锐角;所述第二研磨部还包括形成于所述第二研磨部的底面且与所述第二主体部的轴线相垂直的第五研磨面,所述第五研磨面的一端与所述第四研磨面连接,另一端与所述第二主体部连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海新傲芯翼科技有限公司,其通讯地址为:201815 上海市嘉定区新徕路168号2幢1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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