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华中科技大学卢文龙获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117452024B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311307613.5,技术领域涉及:G01Q60/24;该发明授权一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法是由卢文龙;徐星宇;周庆;常素萍设计研发完成,并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法,该方法应用于白光干涉原子力双模式跨尺度测量系统,包括如下步骤:获取原子力扫描探针针尖与悬臂尖端位置关系的转换矩阵P1;在原子力探针接触测量模式下,获取悬臂尖端的位置坐标,根据所述转换矩阵P1计算得到原子力扫描探针针尖的位置坐标pnw。本发明白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法实现了模式切换后出现在CCD视场内的原子力探针针尖进行快速、准确的自动定位,得到原子力探针针尖的精确坐标,并且得到两个测量模式下坐标的转换关系,实现在不同目标区域下测量方式的灵活选择,提高测量精度和测量速度。

本发明授权一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法在权利要求书中公布了:1.一种白光干涉原子力探针系统的测量定位与坐标转换方法,该方法应用于白光干涉原子力双模式跨尺度测量系统,其特征在于,包括如下步骤: 获取原子力扫描探针针尖与悬臂尖端位置关系的转换矩阵,包括:获取原子力扫描探针针尖在平行于悬臂的平面上与悬臂尖端的距离测量值,所述转换矩阵; 在原子力探针接触测量模式下,获取悬臂尖端的位置坐标,包括:获取在原子力扫描探针接触测量模式下,悬臂和原子力扫描探针针尖在CCD视场中的图像;对所述图像进行处理后提取悬臂边缘轮廓;根据悬臂边缘轮廓的坐标计算悬臂尖端的位置坐标,计算公式为:;; 在白光测量模式下确定原子力探针接触测量的目标区域;切换至原子力探针接触测量模式,获取测量模式切换后原子力扫描探针针尖移动到所述目标区域的水平位移值,进而获得白光测量模式与原子力接触探针测量模式数据之间的转换矩阵;所述转换矩阵; 根据所述转换矩阵和所述转换矩阵求得两个测量模式下数据转换关系式,计算得到原子力扫描探针针尖的位置坐标;, 其中,为原子力扫描探针针尖的实际高度;为悬臂的厚度;、为悬臂尖端的坐标;分别为悬臂两边缘的坐标;为提取出的悬臂边缘的坐标集合;为模式切换后原子力扫描探针在方向的位移值;为模式切换后原子力扫描探针在方向的位移值;是原子力扫描探针针尖在白光测量模式下的坐标,是原子力扫描探针在原子力探针接触测量模式下的坐标。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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