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龙图腾网获悉武汉凌云光电科技有限责任公司申请的专利一种全自动晶圆激光打标装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116810160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310756954.4，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种全自动晶圆激光打标装置和方法是由江建新设计研发完成，并于2023-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动晶圆激光打标装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全自动晶圆激光打标装置和方法，包括上下料工站、CCD识别系统、搬运系统、晶圆载台、激光打标系统；还包括CCD定位系统和调整机构，P轴直线模组上设置中空旋转平台，中空旋转平台1个晶圆载台，中空旋转平台动子部绕其旋转中心转动时，可带动晶圆载台及晶圆一起绕旋转中心转动。所述三组CCD图像采集器围绕中空旋转平台动子部旋转中心圆周均布，固定不动，用于采集晶圆外轮廓或边缘的数据信息。本发明不仅结构简单、经济实用、自动化程度高，而且可以通过CCD视觉识别的方式先调整晶圆直边的位置至正确位置然后再计算晶圆圆心的位置，最后基于晶圆圆心的位置控制振镜自动调整激光光束，实现对晶圆的准确打标。

本发明授权一种全自动晶圆激光打标装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆激光打标装置，包括 上下料工站10，用于晶圆料盒的放置及定位； CCD识别系统20，用于控制搬运系统30从晶圆料盒获取晶圆； 搬运系统30，用于移送晶圆至晶圆载台； 晶圆载台503，用于承载晶圆； 激光打标系统60，用于通过振镜机构调整激光光束对位于晶圆载台上的晶圆进行打标； 其特征在于： 还包括 调整机构50，包括设置于所述CCD定位系统40和所述激光打标系统60之间的P轴直线模组501，所述P轴直线模组501上设置有可绕Z轴旋转的中空旋转平台502，所述中空旋转平台502上设置有一个晶圆载台503，所述中空旋转平台502的动子部绕其旋转中心转动时，可带动晶圆载台503和位于晶圆载台503上的晶圆一起绕所述中空旋转平台502的旋转中心转动； CCD定位系统40，包括一台用于获取位于晶圆载台503上晶圆的晶圆直边坐标参数的CCD图像采集器B和两台用于获取位于晶圆载台503上晶圆的晶圆圆弧坐标参数的CCD图像采集器B，三台CCD图像采集器B围绕中空旋转平台502的动子部旋转中心圆周均布； 搬运系统30将晶圆移送至晶圆载台503后，CCD定位系统40的工作步骤包括 S1，一台CCD图像采集器B对该晶圆的外轮廓拍照获取该晶圆的晶圆直边坐标参数，判断是否满足预设要求，预设要求为：晶圆直边与预定义的理论晶圆直边平行或重合，若不满足要求，则将两者坐标参数的位置偏差信息传送给调整机构50，调整机构50旋转相应角度实现两者平行或重合； S2，三台CCD图像采集器B同时对该晶圆再次拍照获取各CCD图像采集器B对应视野内晶圆边的坐标信息，分析获取该晶圆的实际圆心坐标，并将获取的该晶圆的实际圆心坐标发送至激光打标系统60； S3，P轴直线模组501将中空旋转平台502、晶圆载台503和晶圆平移至激光打标系统60，激光打标系统60的振镜机构基于该晶圆的实际圆心坐标纠偏，执行激光打标动作，将打标内容输出到晶圆上正确的位置。

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