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龙图腾网获悉宁波九纵智能科技有限公司申请的专利一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116609352B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310563579.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统是由王孟哲;梁正南;赖勉力;李恩全设计研发完成，并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆外观检测配方制作技术领域，具体地说，涉及一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统，所述方法具体包括以下步骤，步骤S1：上片并确认晶圆信息；步骤S2：设定晶圆角度校正以用于将晶圆放平；步骤S3：晶圆偏移量校正以用于将晶圆中心与运动平台保持一致；步骤S4：设定晶粒分布图，将理论的分布图与实际分布图进行位置上的匹配；步骤S5：确定检测元素，任一选一个晶粒分布图中的区域作为检测元素，并依次规划选择剩余区域以确定多个检测元素；步骤S6：依次采集检测元素照片；步骤S7：检测训练以形成晶圆外观缺陷检测配方程序。

本发明授权一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法、设备及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆外观缺陷检测配方程序制作方法，其用于对不同型号晶圆在软件上进行配方制作，其特征在于：具体包括以下步骤， 步骤S1：上片并确认晶圆信息； 步骤S2：设定晶圆角度校正以用于将晶圆放平，具体包括： 步骤S21，根据检测分辨率要求，设置物镜对应所需倍率； 步骤S22，设置明暗场照明参数； 步骤S23，设置聚焦参数，通过z轴升降镜头调焦，调好后输入聚焦高度和设置高度偏差量； 步骤S24，运动平台控制器参数设置：XY方向包括寸动和连续运动，寸动步距为每次步进移动距离大小且移动后停止，Z轴方向采用手动以调整聚集面；连续运动为持续移动不停止； 步骤S25，自动聚焦：通过运动平台调整镜头XY方向，使镜头中心对准晶圆中心x0，y0； 步骤S26，标记为左侧模板：通过运动平台调整镜头XY方向，找到晶圆左边标记特征，并设定为模板，使用hough变换识别圆方法求出中心点坐标xl，yl； 步骤S27，标记为右侧模板：通过运动平台调整镜头xy方向，找到晶圆右边标记特征，并设定为模板，使用hough变换识别圆方法求出中心点坐标xr，yr； 步骤S28，求出x和y方向上晶圆上片角度和，式中，x0，y0为该晶圆左边和右边标记特征在XY方向上的原始距离； 步骤S29，按上片角度调整运动平台控制器，保证晶圆放平； 步骤S3：晶圆偏移量校正以用于将晶圆中心与运动平台保持一致，具体包括： 步骤S31，选取晶圆标记特征，并设定为模板，使用hough变换识别圆方法求出中心点坐标X，Y； 步骤S32,求出xy方向偏移量，； 步骤S33,运动平台按求出偏移量进行修正，保证镜头、晶圆和运动平台3者中心在一条直线上； 步骤S4：设定晶粒分布图，将理论的分布图与实际分布图进行位置上的匹配； 步骤S5：确定检测元素，任一选一个晶粒分布图中的区域作为检测元素，并依次规划选择剩余区域以确定多个检测元素； 步骤S6：依次采集检测元素照片； 步骤S7：检测训练以形成晶圆外观缺陷检测配方程序。

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