株式会社新柯隆长江亦周获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社新柯隆申请的专利离子引出栅极、离子源以及离子引出栅极的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116417312B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111638914.7,技术领域涉及:H01J37/08;该发明授权离子引出栅极、离子源以及离子引出栅极的制造方法是由长江亦周;青山贵昭;宫内充祐;松本繁治;斋藤大嗣设计研发完成,并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子引出栅极、离子源以及离子引出栅极的制造方法在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种离子引出栅极、离子源以及离子引出栅极的制造方法。所述离子引出栅极的截面呈弧状,在离子引出栅极上设置有贯穿离子引出栅极且中心轴线为直线的多个孔部;其中,多个孔部中的至少一部分孔部的中心轴线与孔部周围的离子引出栅极的表面的切线不垂直,和或,离子引出栅极的厚度根据孔部的大小和相邻孔部之间的间隔被确定。由此,离子能够高效地通过离子引出栅极的孔部,从而进一步提升离子源的效率;此外,可以在提高栅极的离子束引出效率从而加大离子束密度的同时,兼顾地提高栅极的机械强度和延长使用寿命。
本发明授权离子引出栅极、离子源以及离子引出栅极的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种离子引出栅极,其截面呈弧状,在所述离子引出栅极上设置有贯穿所述离子引出栅极且中心轴线为直线的多个孔部, 其特征在于,所述多个孔部中的至少一部分孔部的中心轴线与所述孔部周围的所述离子引出栅极的表面的切线不垂直。
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