山东大学林玉哲获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种宽量程的薄膜真空计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116296052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310228013.3,技术领域涉及:G01L21/00;该发明授权一种宽量程的薄膜真空计是由林玉哲;陈公贤;周同金;陶继方设计研发完成,并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种宽量程的薄膜真空计在说明书摘要公布了:本发明公开了一种宽量程的薄膜真空计,包括壳体,所述壳体内设置检测电极,所述检测电极将壳体内部分为检测腔室和真空腔室,所述检测腔室连接进气管,所述真空腔室连接抽气管;所述真空腔室内设置压阻元件,所述压阻元件与所述检测电极相对平行设置,所述压阻元件上与检测电极相对的一面镀设有固定电极,所述压阻元件上集成有四个等值电阻,并联接为惠斯通电桥;所述固定电极和惠斯通电桥分别通过引出线引出真空腔室,并连接外部测试电路。本发明所公开的薄膜真空计能够实现中低真空范围内的测量,保留真空计在中真空范围内的高灵敏度,并有效地拓宽了电容薄膜真空计的量程。
本发明授权一种宽量程的薄膜真空计在权利要求书中公布了:1.一种宽量程的薄膜真空计,其特征在于,包括壳体,所述壳体内设置检测电极,所述检测电极将壳体内部分为检测腔室和真空腔室,所述检测腔室连接进气管,所述真空腔室连接抽气管;所述真空腔室内设置压阻元件,所述压阻元件与所述检测电极相对平行设置,所述压阻元件上与检测电极相对的一面镀设有固定电极,所述压阻元件上集成有四个等值电阻,并联接为惠斯通电桥;所述固定电极和惠斯通电桥分别通过引出线引出真空腔室,并连接外部测试电路。
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