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龙图腾网获悉恒迈光学精密机械(杭州)有限公司申请的专利一种基于微片固体激光移频回馈位移传感器的面形测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116242273B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310275485.4，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于微片固体激光移频回馈位移传感器的面形测量装置是由王圣浩;李灵巧;徐学科;吴福林;隋展设计研发完成，并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于微片固体激光移频回馈位移传感器的面形测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了基于正交偏振激光位移传感器的面形测量装置，其特征在于，包括第一正交偏振激光位移传感器、第二正交偏振激光位移传感器二维扫描仪和控制器，第一正交偏振激光位移传感器和均安装在二维扫描仪上，二维扫描仪驱动第一正交偏振激光位移传感器和第二正交偏振激光位移传感器沿预定轨迹移动，控制器与第一正交偏振激光位移传感器、第二正交偏振激光位移传感器、二维扫描仪相连，根据各个采样点位置处参考样品与待测样品的距离，获得待测样品的面形参数，该装置成本低，可测量自由曲面，能够实现样品的原位测量。

本发明授权一种基于微片固体激光移频回馈位移传感器的面形测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于微片固体激光移频回馈位移传感器的面形测量装置，其特征在于，包括： 第一微片固体激光移频回馈位移传感器，所述第一微片固体激光移频回馈位移传感器安装在二维扫描仪上，向参考样品发射激光，测量第一微片固体激光移频回馈位移传感器与参考样品表面的初始距离A； 第二微片固体激光移频回馈位移传感器，所述第二微片固体激光移频回馈位移传感器安装在二维扫描仪上，第二微片固体激光移频回馈位移传感器向待测样品表面发射激光，测量第二微片固体激光移频回馈位移传感器与待测样品之间的初始距离B； 二维扫描仪，所述二维扫描仪驱动第一微片固体激光移频回馈位移传感器和第二微片固体激光移频回馈位移传感器沿预定轨迹移动，扫描激光在对应的参考样品和待测样品上的移动轨迹，测量移动轨迹上各个采样点位置处第一微片固体激光移频回馈位移传感器与参考样品表面的距离变化量Δnn、第二微片固体激光移频回馈位移传感器与待测样品之间距离变化量ξnn； 控制器，所述控制器与第一微片固体激光移频回馈位移传感器、第二微片固体激光移频回馈位移传感器、二维扫描仪相连以获得初始距离A、初始距离B、距离变化量Δnn、距离变化量ξnn，并根据初始距离A、初始距离B、距离变化量Δnn、距离变化量ξnn计算移动轨迹上各个采样点位置处第一微片固体激光移频回馈位移传感器与参考样品表面的实际距离A1、第二微片固体激光移频回馈位移传感器与待测样品表面的实际距离B1，并根据各个采样点位置处对应的实际距离A1和实际距离B1计算参考样品和待测样品的距离C，最终获得待测样品的面形参数。

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