麦克德米德乐思公司D·苏尔获国家专利权
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龙图腾网获悉麦克德米德乐思公司申请的专利使用镍或钴合金制造3D NAND的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116134980B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180046309.2，技术领域涉及：H10B43/27；该发明授权使用镍或钴合金制造3D NAND的方法是由D·苏尔;V·梅威尔莱克;M·蒂亚姆设计研发完成，并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用镍或钴合金制造3D NAND的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种使半导体衬底金属化的工艺，特别是用于制造3DNAND存储器。该金属化工艺包括用贵金属如钯来活化介电材料表面的步骤，然后是使用包含金属离子的溶液通过无电工艺沉积镍或钴合金的步骤。
本发明授权使用镍或钴合金制造3D NAND的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造3DNAND存储器的方法，包括至少一个在溶剂相中对无机氧化物表面进行有选择金属化的金属化工艺，所述金属化工艺通过形成镍或钴与选自硼、磷和钨的元素的金属合金沉积物来进行，并且所述金属化工艺包括： -用贵金属活化该无机氧化物表面的步骤，所述活化步骤之后是 -在没有极化的情况下使所述无机氧化物表面与无电溶液接触以形成金属合金沉积物的步骤， 所述无电溶液包含： 金属离子，所述金属离子为镍离子或钴离子； 包含硼、磷、钨或其混合物的至少两种用于该金属离子的还原剂； 稳定剂，其量足以络合该金属离子； 聚乙烯亚胺，其数均分子量Mn为500至700gmol；以及 Mn小于500gmol的脂族多胺。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦克德米德乐思公司，其通讯地址为：美国康涅狄格州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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