中科晶源微电子技术(北京)有限公司陈喜亚获国家专利权
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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116130323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110584640.1，技术领域涉及：H01J37/065；该发明授权浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法是由陈喜亚;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法在说明书摘要公布了：本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪，包括：电子束源、电子枪阳极及磁透镜，磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽，电子枪阳极设置在阳极安装槽内，电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附，电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电镜外壳固定连接，电子束源设置在电子枪阳极上方，用以向下发射电子束。通过在磁透镜顶部开设有安装槽，并将结构与其紧密配合的电子枪阳极设在安装槽中，安装过程中确保对中精度，易于电子束源与电子枪阳极对中，通过本领域实施人员操作调节件，便于电子枪阳极与磁透镜对中，进一步优化对中位置，根据荧光屏上的电子束斑位置及显微图像特点，上至下逐级微调电子光学部件，实现整体系统对中。
本发明授权浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法在权利要求书中公布了：1.一种浸没式磁透镜电子枪，其特征在于，包括电子束源、电子枪阳极及磁透镜； 所述磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽； 所述电子枪阳极设置在所述阳极安装槽内，所述电子枪阳极的底部及侧壁与所述阳极安装槽的内壁相贴附，所述电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电镜外壳固定连接； 所述电子束源设置在所述电子枪阳极上方，用以向下发射电子束； 所述磁透镜还包括调节件； 所述磁透镜的侧壁上开设有调节孔，所述调节孔连通至所述阳极安装槽； 所述电子枪阳极包括阳极板； 所述阳极板底部水平，侧壁竖直，且所述阳极板外边缘的高度高于其中部高度，中心处开设有阳极孔，所述阳极孔与所述光轴通孔相对应； 所述调节件与所述调节孔的结构相匹配，一端伸入所述阳极安装槽内与所述阳极板相抵接，另一端延伸出所述磁透镜外侧，调节所述调节件，所述磁透镜能够在水平面内移动。
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