株式会社尼康渡邉阳司获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利曝光装置、测量装置和元件制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116097172B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080105053.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置、测量装置和元件制造方法是由渡邉阳司设计研发完成，并于2020-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置、测量装置和元件制造方法在说明书摘要公布了：目的在于提供一种为了进行高精度的曝光，能够在使用空间光调制器的曝光的间隙，在短时间内高精度地测量空间光调制器的运行状态的曝光装置、测量装置、测量方法和元件制造方法。曝光装置包括：曝光照明光学系统，对空间光调制器进行照明，所述空间光调制器包括具有配置于排列面的反射面的多个空间光调制器件；投影光学系统，将来自空间光调制器的光投影至被曝光基板；第一检测部，检测来自反射面的光；第二检测部，其为检测来自反射面的光的检测部，且检测视野比第一检测部广；以及位置变更机构，使第一检测部及第二检测部与空间光调制器之间的位置关系成为空间光调制器与第一检测部相向的第一位置关系和空间光调制器与第二检测部相向的第二位置关系中的一者。
本发明授权曝光装置、测量装置和元件制造方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，包括： 照明光学系统，对空间光调制器进行照明，所述空间光调制器包括多个空间光调制器件，所述多个空间光调制器件具有配置于排列面的反射面； 投影光学系统，将来自所述空间光调制器的光投影至被曝光基板； 第一检测部，具有第一检测光学系统并检测来自所述反射面的光； 第二检测部，其为具有第二检测光学系统并检测来自所述反射面的光的检测部，且检测视野比所述第一检测部广；以及 位置变更机构，使所述第一检测部及所述第二检测部与所述空间光调制器之间的位置关系成为所述空间光调制器与所述第一检测部相向的第一位置关系和所述空间光调制器与所述第二检测部相向的第二位置关系中的一者。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社尼康，其通讯地址为：日本东京港区港南二丁目15番3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励