哈尔滨工业大学王晨曦获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种Co/氧化物介质混合键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211730055.9，技术领域涉及：H10W80/00；该发明授权一种Co/氧化物介质混合键合方法是由王晨曦;戚晓芸;马岩;牛帆帆;田艳红设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Co/氧化物介质混合键合方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种Co氧化物介质混合键合方法，该方法包括：将含有Co电极和氧化物介质的样品进行多元等离子活化处理，得到待键合样品，其中，所述多元等离子活化处理使用的等离子气体包括至少三种气体；将所述待键合样品对准贴合后进行热压键合，得到Co氧化物介质混合键合样品。本发明提供的Co氧化物介质混合键合方法，能够同时实现Co‑Co、氧化物介质‑氧化物介质及Co‑氧化物介质的无凸点混合键合，避免含有机酸的湿法清洗环节及界面有机物的残留，提升界面的可靠性，可实现微小节距下混合键合，为低延迟、低功耗、高带宽、高密度三维集成提供了技术支持。
本发明授权一种Co/氧化物介质混合键合方法在权利要求书中公布了：1.一种Co氧化物介质混合键合方法，其特征在于，包括： 步骤S1、将含有Co电极和氧化物介质的样品进行多元等离子活化处理，得到待键合样品，其中，所述多元等离子活化处理使用的等离子气体至少包括非反应型气体Ar及反应型气体NH3和H2O； 步骤S2、将所述待键合样品对准贴合后进行热压键合，得到Co氧化物介质混合键合样品。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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