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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116007903B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310038995.X，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法是由刘洋;李思坤设计研发完成，并于2023-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法在说明书摘要公布了：一种光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法，通过将像面光栅离焦后测得的拟合波前的Z4、Z9项Zernike多项式的系数替换为像面光栅位于焦平面时的相应系数，再次重新拟合波前实现系统误差的算法补偿，同时该方法计算出像面光栅的实际离焦距离，可以实现像面光栅调整至成像焦平面的机械补偿。该方法能够消除像面光栅离焦引入的成像系统失焦误差，提高光栅剪切干涉技术检测光学系统的精确度。

本发明授权光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法，其特征在于，该方法包含下列步骤： 1光栅剪切干涉仪的像面光栅与待测光学系统成像焦面重合时，利用光栅横向剪切干涉仪产生待测光学系统在X、Y方向的剪切干涉图，并使用二维光电传感器接收干涉图I*xxd,yd和I*yxd,yd，其中xd,yd为二维光电传感器上的像素位置坐标系； 2从所述X、Y方向的剪切干涉图中提取X、Y方向的差分相位S*xxd,yd和S*yxd,yd； 3利用差分相位S*xxd,yd和S*yxd,yd重建待测波前W*，采用前m项条纹Zernike多项式对重建波前W*进行拟合，得到各多项式对应的系数C*ii＝1,2，…，m，重建波前W*的拟合表达式： 其中，Zi表示第i项多项式，Z4、Z9项对应的系数为C*4、C*9； 4光栅剪切干涉仪的像面光栅偏离待测光学系统成像焦面时，利用光栅横向剪切干涉仪产生待测光学系统在X、Y方向的剪切干涉图，并使用二维光电传感器接收干涉图Ixxd,yd和Iyxd,yd，其中xd,yd为二维光电传感器上的像素位置坐标系； 5从所述X、Y方向的剪切干涉图中提取X、Y方向的差分相位Sxxd,yd和Syxd,yd； 6利用差分相位Sxxd,yd和Syxd,yd重建待测波前W，采用前m项条纹Zernike多项式对重建波前W进行拟合，得到各多项式对应的系数Cii＝1,2，…，m，重建波前W的拟合表达式： 其中，Zi表示第i项多项式；Z4、Z9项对应的系数为C4、C9； 7将步骤6得到的Z4、Z9项多项式对应的系数C4、C9替换为步骤3得到的Z4、Z9项系数C*4、C*9，利用替换后的各多项式系数Ci再次拟合待测波前，输出系统误差补偿后的待测波前； 8根据像面光栅偏离焦平面时波前拟合的Z4项多项式系数C4和像面光栅在焦平面位置时Z4项系数C*4计算像面光栅的离焦距离z为： ， 其中，NA为待测光学系统的数值孔径； 9移动像面光栅距离z，光栅横向剪切干涉仪的像面光栅调节至与待测光学系统成像焦面重合。

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