东京毅力科创株式会社小西显太朗获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利支承装置、检查系统以及支承装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211221522.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权支承装置、检查系统以及支承装置的控制方法是由小西显太朗设计研发完成，并于2022-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本支承装置、检查系统以及支承装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种支承装置、检查系统以及支承装置的控制方法,其能够灵活进行用于支承作为用于检查对象的基板W的支承部的温度控制。该支承装置包括:支承部,其支承检查对象,并且在内部具有供第一调温介质自流入口流至流出口的流道；混合部,其以设定的比率排出将自上述流出口流出的上述第一调温介质与自外部供给的第二调温介质混合后的第三调温介质；介质转移部,其将上述第三调温介质作为上述第一调温介质而送至上述流入口；以及加热部,其对上述第一调温介质或上述第三调温介质进行加热。
本发明授权支承装置、检查系统以及支承装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种支承装置,包括: 支承部,其支承检查对象,并且在内部具有供第一调温介质自流入口流至流出口的流道； 混合部,其以设定的比率排出将自上述流出口流出的上述第一调温介质与自外部供给的第二调温介质混合后的第三调温介质； 介质转移部,其将上述第三调温介质作为上述第一调温介质而送至上述流入口；以及 加热部,其对上述第一调温介质或上述第三调温介质进行加热， 上述介质转移部包括泵， 上述混合部包括三通阀， 上述三通阀将自外部供给的调温介质分配至向外部排出的路径和送至上述介质转移部的路径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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