浙江晶盛机电股份有限公司朱亮获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种抛光载体及飞片检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115946024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211588770.3，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种抛光载体及飞片检测方法是由朱亮;李阳健;郑猛;韩鹏飞;黄金涛设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光载体及飞片检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光载体，包括：载体本体，所述载体本体包括：第一座，所述第一座上具有第一气道；第二座，所述第二座与所述第一座叠置且位于所述第一座的正下方，所述第二座与所述第一座之间形成第一腔，所述第一腔与所述第一气道连通；所述第二座与所述第一座之间活动连接，使得所述第一腔的容积可变；检测组件，所述检测组件包括：压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔内，所述压力传感器用于监测所述第一腔内的气压变化。解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。
本发明授权一种抛光载体及飞片检测方法在权利要求书中公布了：1.一种抛光载体，其特征在于，包括： 载体本体，所述载体本体包括： 第一座100，所述第一座100上具有第一气道110； 第二座200，所述第二座200与所述第一座100叠置且位于所述第一座100的正下方，所述第二座200与所述第一座100之间形成第一腔120，所述第一腔120与所述第一气道110连通；所述第二座200与所述第一座100之间活动连接，使得所述第一腔120的容积可变； 检测组件600，所述检测组件600包括： 压力传感器，所述压力传感器容置于所述第一腔120内，所述压力传感器用于监测所述第一腔120内的气压变化。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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