株式会社斯库林集团坂本道昭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利绘制装置、绘制方法及记录有程序的存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115729053B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210992521.4,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权绘制装置、绘制方法及记录有程序的存储介质是由坂本道昭设计研发完成,并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本绘制装置、绘制方法及记录有程序的存储介质在说明书摘要公布了:提供一种绘制装置、绘制方法及记录有程序的存储介质。位置检测部113通过对由拍摄部获取到的拍摄图像进行使用了模板的图案匹配,检测基板的位置。存储部111存储向第1图案上绘制的第2图案的作为CAD数据的第2CAD数据。数据生成部115将第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据。存储部111还存储表示在第1图案上基于位置检测部113进行图案匹配的匹配位置的坐标。数据生成部115将第1图案的CAD数据栅格化而创建中间数据,并从该中间数据生成与匹配位置相对应的规定大小的区域的图像数据来作为模板。由此,能够容易且迅速地进行模板的生成。
本发明授权绘制装置、绘制方法及记录有程序的存储介质在权利要求书中公布了:1.一种绘制装置,对基板照射光来进行图案绘制,其特征在于,具备: 载台,其保持上表面上预先设有第1图案的基板; 绘制头,其对所述基板的所述上表面照射调制后的光; 扫描机构,其使所述载台在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上相对于所述绘制头相对移动; 拍摄部,其对所述第1图案的一部分进行拍摄; 位置检测部,其通过对由所述拍摄部获取到的拍摄图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置; 存储部,其存储向所述第1图案上绘制的第2图案的作为CAD数据的第2CAD数据; 数据生成部,其将所述第2CAD数据栅格化而生成第2栅格数据;和 绘制控制部,其通过基于所述第2栅格数据及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置控制所述绘制头及所述扫描机构,来执行所述第2图案向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板的绘制, 所述存储部还存储表示在所述第1图案上基于所述位置检测部进行图案匹配的匹配位置的坐标, 所述数据生成部仅将与所述第1图案中的包含所述匹配位置的规定区域相对应的作为CAD数据的部分数据栅格化而创建中间数据,并从所述中间数据生成与所述匹配位置相对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板。
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