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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利基板翻转搬送装置及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692273B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110837581.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板翻转搬送装置及基板处理装置是由彭博设计研发完成，并于2021-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板翻转搬送装置及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基板翻转搬送装置包括夹持机构、移动机构和反转机构，所述夹持机构用于夹持基板；所述移动机构驱使所述夹持机构在与所述基板接触的接触位置与离开所述基板的退避位置之间进退；所述反转机构包括旋转轴和旋转连接机构，所述旋转连接机构的一端与所述夹持机构连接，所述旋转连接机构的另一端与所述旋转轴连接，通过所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转，以使所述基板反转并使基板的中心轴线从第一位置运动到第二位置，实现了集基板反转和基板搬运于一体，使得基板在实现偏心反转的同时还使基板传送了一定的位移，有助于形成过渡连接，便于与其他处理装置配合而顺利完成后续工艺。本发明还提供了一种基板处理装置。

本发明授权基板翻转搬送装置及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板翻转搬送装置，其特征在于，包括： 夹持机构，用于夹持基板；所述夹持机构包括第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件相对夹持于所述基板的周缘部； 移动机构，驱使所述夹持机构在与所述基板接触的接触位置与离开所述基板的退避位置之间进退； 反转机构，包括旋转轴和旋转连接机构，所述旋转连接机构的一端与所述夹持机构连接，所述旋转连接机构的另一端与所述旋转轴连接，通过所述旋转连接机构带动所述夹持机构绕所述旋转轴旋转，以使所述基板反转并使所述基板的中心轴线从第一位置运动到第二位置； 所述旋转连接机构包括第一旋转连接组件和第二旋转连接组件，所述旋转轴的一端部与该端部同侧设置的所述第一旋转连接组件活动连接，所述旋转轴的另一端部与该端部同侧设置的所述第二旋转连接组件活动连接，所述第一旋转连接组件与所述第一夹持组件连接，所述第二旋转连接组件与所述第二夹持组件连接，所述第一旋转连接组件和所述第二旋转连接组件分别带动所述第一夹持组件和所述第二夹持组件绕所述旋转轴同步旋转。

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