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深圳天狼芯半导体有限公司刘杰获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳天狼芯半导体有限公司申请的专利一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115632068B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211266942.5,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管是由刘杰;李孟泽;黄汇钦设计研发完成,并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管在说明书摘要公布了:本申请适用于晶体管技术领域,提供了一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管。P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管包括衬底、氮化铝成核层、氮化镓缓冲层、铝镓氮势垒层及钝化层;钝化层中设置有与铝镓氮势垒层相接触的源极、漏极及P型栅结构;其中,P型栅结构包括栅极和N个互不接触的P型氮化镓结构;栅极设置在钝化层中远离铝镓氮势垒层的一侧,N个P型氮化镓结构沿钝化层与铝镓氮势垒层的接触面依次排列,且N个P型氮化镓结构均嵌入在栅极中,不同的P型氮化镓结构的掺杂浓度均不相同。本方案不仅可以提高P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管的阈值电压,而且不会导致P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管的开关速度降低以及开关损耗增大。

本发明授权一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管在权利要求书中公布了:1.一种P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管,包括衬底以及设置在所述衬底上,且沿远离所述衬底的方向依次排列的氮化铝成核层、氮化镓缓冲层、铝镓氮势垒层及钝化层;所述氮化铝成核层与所述衬底相接触,所述氮化镓缓冲层和所述氮化铝成核层相接触,所述铝镓氮势垒层与所述氮化镓缓冲层相接触,所述钝化层与所述铝镓氮势垒层相接触;所述钝化层中设置有与所述铝镓氮势垒层相接触的源极、漏极及P型栅结构;其特征在于,所述P型栅结构包括: 栅极,设置在所述钝化层中远离所述铝镓氮势垒层的一侧; N个互不接触的P型氮化镓结构,N个所述P型氮化镓结构沿所述钝化层与所述铝镓氮势垒层的接触面依次排列,且N个所述P型氮化镓结构均嵌入在所述栅极中,不同的所述P型氮化镓结构的掺杂浓度均不相同; 所述P型栅氮化镓高电子迁移率晶体管还包括二维电子气,所述二维电子气位于所述氮化镓缓冲层和所述铝镓氮势垒层之间; 所述P型栅结构还包括: N-1个填充物,分别填充在每相邻两个所述P型氮化镓结构之间,所述填充物对所述二维电子气的耗尽作用弱于各个所述P型氮化镓结构对所述二维电子气的耗尽作用;所述N-1个填充物为非故意掺杂型氮化镓或低掺杂P型氮化镓。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳天狼芯半导体有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道6019号金润大厦18E;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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